[实用新型]一种自动水洗系统

摘要

本实用新型公开了一种自动水洗系统，涉及半导体加工技术领域，包括水洗室、输送装置以及供水装置，所述水洗室上开设有水洗入口和水洗出口，所述水洗室内部至少分隔设置有两个呈并排设置的分洗室；所述供水装置包括主供水管以及分供水管，所述分供水管一端均固定有喷淋器；所述输送装置包括若干转动架设于水洗室中的传送辊，各所述传送辊共同构成晶圆的输送轨迹，且所述输送装置依次穿经各分洗室；各所述分洗室中还水平转动设置有螺旋搅拌轴，所述螺旋搅拌轴的一端伸出对应分洗室并通过链轮机构和减速机连接有驱动电机。本实用新型提供了使用方便、清洗效果突出，并有助于提高晶圆加工良率的一种自动水洗系统。

主权项

1.一种自动水洗系统，包括水洗室（1）、输送装置（11）以及与水洗室（1）呈连通设置的供水装置（12），所述水洗室（1）上开设有水洗入口（2）和水洗出口（9），其特征在于，所述水洗室（1）内部至少分隔设置有两个呈并排设置的分洗室，所述供水装置（12）同时连通各分洗室；所述输送装置（11）从水洗入口（2）延伸至水洗出口（9），且所述输送装置（11）依次穿经各分洗室。