[实用新型]一种自动水洗系统

权利要求书

1.一种自动水洗系统，包括水洗室（1）、输送装置（11）以及与水洗室（1）呈连通设置的供水装置（12），所述水洗室（1）上开设有水洗入口（2）和水洗出口（9），其特征在于，所述水洗室（1）内部至少分隔设置有两个呈并排设置的分洗室，所述供水装置（12）同时连通各分洗室；所述输送装置（11）从水洗入口（2）延伸至水洗出口（9），且所述输送装置（11）依次穿经各分洗室。

2.根据权利要求1所述的一种自动水洗系统，其特征在于，所述输送装置（11）包括若干转动架设于水洗室（1）中的传送辊（111），各所述传送辊（111）呈水平间隔设置并共同构成晶圆的输送轨迹。

3.根据权利要求2所述的一种自动水洗系统，其特征在于，所述输送轨迹在任一分洗室中的高度均低于对应分洗室中水面高度。

4.根据权利要求1所述的一种自动水洗系统，其特征在于，所述供水装置（12）包括固定架设于水洗室（1）上的主供水管（121）以及用于连通主供水管（121）与分洗室的分供水管（122），所述分供水管（122）与分洗室呈一一对应设置，且各所述分供水管（122）远离主供水管（121）的一端均固定有喷淋器（123）。

5.根据权利要求1或4所述的一种自动水洗系统，其特征在于，各所述分洗室的底部均连通有排水管（19），所述排水管（19）上设置有控制阀（191）。

6.根据权利要求5所述的一种自动水洗系统，其特征在于，所述水洗室（1）下方还设置有废液回收室（20），各所述分洗室均通过对应排水管（19）连通废液回收室（20）。

7.根据权利要求1所述的一种自动水洗系统，其特征在于，各所述分洗室中还水平转动设置有螺旋搅拌轴（10），所述螺旋搅拌轴（10）的一端伸出对应分洗室并通过链轮机构（131）和减速机（132）连接有驱动电机（133）。

8.根据权利要求1所述的一种自动水洗系统，其特征在于，所述水洗出口（9）处设有烘干装置（18），所述烘干装置（18）固定架设于输送装置（11）上方。