[实用新型]氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台有效

专利信息
申请号: 201821317117.2 申请日: 2018-08-10
公开(公告)号: CN208460735U 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 谢小静 申请(专利权)人: 深圳市都乐精密制造有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 北京中索知识产权代理有限公司 11640 代理人: 宋涛
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型适用于薄膜生产技术领域,提供了一种氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台,包括旋转平台和升降装置,旋转平台通过移动板连接升降装置;升降装置包括旋转柱、移动块和限位座,旋转柱上设有限位孔,限位孔呈螺旋状,移动块通过限位柱连接旋转柱,且限位柱位于限位孔内,限位座上设有限位槽,移动块通过连接杆连接移动板,两端分别连接移动板和移动块。升降装置上安装有防倒转装置,防倒转装置包括锥齿轮、固定块和限位件,限位件包括第一限位件和第二限位件,第一限位件通过弹性件连接第二限位件,且第一限位件和第二限位件上均设有拉线。借此,本实用新型能够对旋转平台的位置进行有效调节,从而降低操作时间,提高工作效率。
搜索关键词: 限位件 升降装置 移动块 旋转平台 旋转柱 本实用新型 防倒转装置 氢化非晶硅 光学薄膜 升降平台 限位孔 限位柱 限位座 移动板 连接杆连接 薄膜生产 呈螺旋状 工作效率 连接移动 有效调节 弹性件 固定块 锥齿轮 拉线 位槽 位孔 生产
【主权项】:
1.一种氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台,其特征在于,包括旋转平台和升降装置,所述旋转平台通过移动板连接升降装置;所述升降装置包括旋转柱、移动块和限位座,所述旋转柱上设有限位孔,所述限位孔呈螺旋状,所述移动块通过限位柱连接旋转柱,且所述限位柱位于限位孔内,所述限位座上设有限位槽,且所述移动块位于限位槽内,所述移动块通过连接杆连接移动板,且所述连接杆穿过限位座,两端分别连接移动板和移动块;所述升降装置上安装有防倒转装置,所述防倒转装置包括锥齿轮、固定块和限位件,所述限位件包括第一限位件和第二限位件,且第一限位件和第二限位件一端活动连接固定块,另一端位于锥齿轮的齿轮空间内,所述第一限位件通过弹性件连接第二限位件,且所述第一限位件和第二限位件上均设有拉线。
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