[实用新型]氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台有效
| 申请号： | 201821317117.2 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN208460735U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 谢小静 | 申请（专利权）人： | 深圳市都乐精密制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 宋涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 限位件 升降装置 移动块 旋转平台 旋转柱 本实用新型 防倒转装置 氢化非晶硅 光学薄膜 升降平台 限位孔 限位柱 限位座 移动板 连接杆连接 薄膜生产 呈螺旋状 工作效率 连接移动 有效调节 弹性件 固定块 锥齿轮 拉线 位槽 位孔 生产 | ||
1.一种氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，包括旋转平台和升降装置，所述旋转平台通过移动板连接升降装置；
所述升降装置包括旋转柱、移动块和限位座，所述旋转柱上设有限位孔，所述限位孔呈螺旋状，所述移动块通过限位柱连接旋转柱，且所述限位柱位于限位孔内，所述限位座上设有限位槽，且所述移动块位于限位槽内，所述移动块通过连接杆连接移动板，且所述连接杆穿过限位座，两端分别连接移动板和移动块；
所述升降装置上安装有防倒转装置，所述防倒转装置包括锥齿轮、固定块和限位件，所述限位件包括第一限位件和第二限位件，且第一限位件和第二限位件一端活动连接固定块，另一端位于锥齿轮的齿轮空间内，所述第一限位件通过弹性件连接第二限位件，且所述第一限位件和第二限位件上均设有拉线。
2.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述旋转柱两端套接有固定座，且所述固定座固定连接升降装置壳体。
3.根据权利要求2所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述旋转柱通过旋转齿轮连接锥齿轮。
4.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述第一限位件一端活动连接固定块，另一端弯折成型，且弯折角度为90°。
5.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述第二限位件一端活动连接固定块，另一端具有弧度。
6.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述第一限位件和第二限位件上均安装有固定柱，所述弹性件两端卡接固定柱。
7.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述旋转平台固定连接动力件，所述动力件上安装有外壳，且所述移动板固定连接外壳。
8.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述限位孔旋转位于旋转柱上，且呈镂空设置。
9.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述限位柱直径不大于限位孔宽度，且所述限位柱长度大于旋转柱直径长度。
10.根据权利要求1所述的氢化非晶硅光学薄膜生产用升降平台，其特征在于，所述限位槽包括第一限位槽和第二限位槽，所述移动块位于第一限位槽内，所述连接杆位于第二限位槽内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市都乐精密制造有限公司，未经深圳市都乐精密制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821317117.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
