[实用新型]薄膜沉积装置及系统

摘要

本实用新型公开了薄膜沉积装置及系统，涉及薄膜沉积技术领域。本实用新型提供的薄膜沉积装置包括水平底座、沉积组件、加热组件、混气组件及抽真空组件。沉积组件包括沉积室、支架、基片台、衬底及升降机构，升降机构使沉积室升降，沉积室能够与水平底座密封连接并围成密封的沉积空间。沉积室设置有第一进气口和第二进气口，混气组件与第一进气口密封连接，抽真空组件与第二进气口密封连接。加热组件包括均位于沉积空间内的电热丝和二导电支撑柱。本实用新型还提供一种包括薄膜沉积装置的薄膜沉积系统。本实用新型提供的薄膜沉积装置及系统装配方便，具有良好的沉积速度和均匀性，能够保证金刚石薄膜产品的质量，也能够保证电热丝的使用寿命。

主权项

1.一种薄膜沉积装置，其特征在于，包括水平底座、沉积组件、加热组件、混气组件及抽真空组件；所述沉积组件包括沉积室、支架、基片台、衬底及升降机构，所述升降机构安装于所述水平底座上，所述升降机构与所述沉积室连接，以使所述沉积室升降，所述沉积室能够与所述水平底座密封连接并围成密封的沉积空间，所述支架、所述基片台及所述衬底均位于所述沉积空间内，所述基片台通过所述支架安装于所述水平底座上，所述衬底设置于所述基片台上；所述沉积室设置有第一进气口和第二进气口，所述混气组件与所述第一进气口密封连接，所述抽真空组件与所述第二进气口密封连接；所述加热组件包括均位于所述沉积空间内的电热丝和二导电支撑柱，二所述导电支撑柱均安装于所述水平底座上，所述电热丝的两端分别与二所述导电支撑柱电连接。