[实用新型]薄膜沉积装置及系统

说明书

本实用新型公开了薄膜沉积装置及系统，涉及薄膜沉积技术领域。本实用新型提供的薄膜沉积装置包括水平底座、沉积组件、加热组件、混气组件及抽真空组件。沉积组件包括沉积室、支架、基片台、衬底及升降机构，升降机构使沉积室升降，沉积室能够与水平底座密封连接并围成密封的沉积空间。沉积室设置有第一进气口和第二进气口，混气组件与第一进气口密封连接，抽真空组件与第二进气口密封连接。加热组件包括均位于沉积空间内的电热丝和二导电支撑柱。本实用新型还提供一种包括薄膜沉积装置的薄膜沉积系统。本实用新型提供的薄膜沉积装置及系统装配方便，具有良好的沉积速度和均匀性，能够保证金刚石薄膜产品的质量，也能够保证电热丝的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及薄膜沉积技术领域，具体而言，涉及薄膜沉积装置及系统。

背景技术

金刚石是一种特殊的物质材料，不仅具有非常稳定的化学性质，而且硬度在固体材料中最高。现有的热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置中的热丝加热到一定温度后，会因受热发生弯曲、变形现象，甚至损坏，从而降低了热丝的使用寿命。并且，现有装置装配过程也较为复杂，不便于作业人员装配。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种薄膜沉积装置，其装配方便，具有良好的沉积速度和均匀性，能够保证金刚石薄膜产品的质量，也能够保证电热丝的使用寿命。

本实用新型提供一种关于薄膜沉积装置的技术方案：

一种薄膜沉积装置，包括水平底座、沉积组件、加热组件、混气组件及抽真空组件；

所述沉积组件包括沉积室、支架、基片台、衬底及升降机构，所述升降机构安装于所述水平底座上，所述升降机构与所述沉积室连接，以使所述沉积室升降，所述沉积室能够与所述水平底座密封连接并围成密封的沉积空间，所述支架、所述基片台及所述衬底均位于所述沉积空间内，所述基片台通过所述支架安装于所述水平底座上，所述衬底设置于所述基片台上；

所述沉积室设置有第一进气口和第二进气口，所述混气组件与所述第一进气口密封连接，所述抽真空组件与所述第二进气口密封连接；

所述加热组件包括均位于所述沉积空间内的电热丝和二导电支撑柱，二所述导电支撑柱均安装于所述水平底座上，所述电热丝的两端分别与二所述导电支撑柱电连接。

进一步地，所述电热丝包括发热体和二导电连接件，所述发热体的两端设置于二所述导电连接件上，二所述导电连接件分别与二所述导电支撑柱可拆卸地连接。

进一步地，所述导电支撑柱设置有安装通孔，所述安装通孔的孔径尺寸大于或等于所述导电连接件的尺寸，所述导电连接件伸入所述安装通孔并与所述安装通孔的内壁电性连接。

进一步地，所述安装通孔的内壁上设置有至少一导电弹片，所述导电弹片与所述导电连接件抵持。

进一步地，所述沉积组件还包括均位于所述沉积空间内的通气管和设置于所述通气管上的多个喷头，所述通气管与所述第一进气口连通，多个所述喷头均匀间隔地设置于所述通气管上，且所述喷头朝向所述电热丝设置。

进一步地，所述混气组件包括混气室和气体流量计，所述混气室与所述第一进气口密封连接，所述气体流量计设置于所述混气室与所述第一进气口之间并用于检测所述第一进气口的进气量。

进一步地，所述抽真空组件包括真空泵和截止阀，所述真空泵与所述第二进气口密封连接，所述截止阀设置于所述真空泵与所述截止阀之间。

进一步地，所述沉积室为立方体结构并采用透明材料制成。

进一步地，所述薄膜沉积装置还包括水平仪和报警装置，所述水平仪设置于所述水平底座上并与所述报警装置电连接。

本实用新型的另一目的在于提供一种薄膜沉积系统，其高度可根据实际需要灵活地定制，同时重量较轻，使用更加便捷。