[实用新型]防夹装置

摘要

本实用新型涉及半导体设备制造技术领域，公开了一种防夹装置，安装于半导体处理设备的工艺腔与传送腔之间的缓冲腔内，缓冲腔包括上盖、底部以及侧壁，在侧壁上开设有狭缝，缓冲腔还包括狭缝门，对狭缝进行开闭，防夹装置包括晶圆感应机构以及狭缝门控制机构；晶圆感应机构检测晶圆的位置并与狭缝门控制机构通信连接；狭缝门控制机构基于晶圆感应机构的信号来控制狭缝门的开合状态。本实用新型提供的防夹装置能够通过晶圆感应机构对狭缝处进行实时监测，观察狭缝门准备关闭时是否有晶圆掉落在狭缝上以及机械手臂是否已经从缓冲腔收回传送腔，并根据监测结果及时控制狭缝门开启或闭合，实现对晶圆和半导体处理设备的保护。

主权项

1.一种防夹装置，安装于半导体处理设备的工艺腔与传送腔之间的缓冲腔内，所述缓冲腔包括上盖、底部以及侧壁，在所述侧壁上开设有狭缝，所述缓冲腔还包括狭缝门，控制所述狭缝进行开启或闭合，其特征在于，所述防夹装置包括晶圆感应机构以及狭缝门控制机构；所述晶圆感应机构检测所述晶圆的位置并与所述狭缝门控制机构通信连接；所述狭缝门控制机构基于所述晶圆感应机构的信号来控制所述狭缝门的开合状态。