[实用新型]背照式图像传感器

摘要

背照式图像传感器包括设置在衬底中的像素区域、布置在衬底的前侧表面上并与像素区域电连接的布线层、设置在衬底的背侧表面上的滤色器层、设置在滤色器层上的微透镜阵列以及被配置为将像素区域彼此电隔离的隔离区域。每个隔离区域包括深沟槽隔离区域和设置在深沟槽隔离区域上的浅沟槽隔离区域。

主权项

1.背照式图像传感器，包括：像素区域，其设置在衬底中；布线层，其设置在所述衬底的前侧表面上并与所述像素区域电连接；滤色器层，其设置在所述衬底的背侧表面上；微透镜阵列，其设置在所述滤色器层上；和隔离区域，其被配置为将所述像素区域彼此电隔离，其中，每个所述隔离区域包括深沟槽隔离区域和设置在所述深沟槽隔离区域上的浅沟槽隔离区域。