[实用新型]用于光取向的曝光头和曝光系统

摘要

本实用新型提出了一种用于光取向的曝光头和使用该曝光头的用于光取向的曝光系统，其中，该曝光头包括多个平行光单元和曝光头控制单元，该曝光系统包括：曝光室和设置在曝光室内的曝光头。基板平行于曝光头的出射面设置在曝光头的下方，以在曝光头的照射下曝光。本实用新型公开的用于光取向的曝光头和曝光系统中，通过将组成曝光头的多个平行光单元倾斜设置使以特定角度照射到基板上的光线到达基板的距离相同，从而使基板收到均匀的光照强度，可以实现更加稳定的曝光效果。

主权项

1.一种用于光取向的曝光头，其特征在于，所述曝光头包括多个平行光单元和曝光头控制单元，其中：所述多个平行光单元中的每一个包括：灯筒，所述灯筒是与竖直方向成角度α的倾斜装置；光源，所述光源设置在所述灯筒的一端并与外部电源相连接；和准直镜头，所述准直镜头设置在所述灯筒的另一端，以将穿过所述准直镜头的光线转换为具有与竖直方向的夹角为所述角度α的平行出射光线；以及所述曝光头控制单元与所述多个平行光单元以及所述外部电源相连接，以控制所述多个平行光单元的出射光强度和时间。