[实用新型]基于多棱镜扫描技术的垂直曝光设备有效

专利信息
申请号: 201620060015.1 申请日: 2016-01-22
公开(公告)号: CN205539925U 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 赵华;张伟;徐巍;王翰文;马汝治 申请(专利权)人: 江苏影速光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02B17/08
代理公司: 徐州市三联专利事务所 32220 代理人: 周爱芳
地址: 221100 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种基于多棱镜扫描技术的垂直曝光设备,包括工件传输定位系统、多棱镜曝光系统、设备基础底座,所述的工件传输定位系统与设备基础底座之间放置被曝光工件,被曝光工件两侧对称布置有多棱镜曝光系统,所述的被曝光工件为PCB板。本实用新型在工件传输定位系统与设备基础底座之间放置被曝光工件,被曝光工件两侧对称布置有多棱镜曝光系统,被曝光工件为PCB板,这样的对称布置在PCB板两侧,可同时PCB板进行双面曝光,而且可以对多个PCB板进行双面曝光。
搜索关键词: 基于 多棱镜 扫描 技术 垂直 曝光 设备
【主权项】:
一种基于多棱镜扫描技术的垂直曝光设备,其特征在于,包括工件传输定位系统、多棱镜曝光系统、设备基础底座,所述的工件传输定位系统与设备基础底座之间放置被曝光工件,被曝光工件垂直于设备基础底座和工件传输定位系统,被曝光工件两侧对称布置有多棱镜曝光系统,所述的被曝光工件为PCB板。
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