[实用新型]一种晶圆定位流道装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆定位流道装置，包括机架，所述机架的右侧面设有第一电机，所述第一电机和所述机架焊接固定，Y方向拍板气缸位于所述机架的上表面左端处，且与所述机架固定连接，拍板通过所述Y方向拍板气缸位于第一传送带上方，所述拍板与所述Y方向拍板气缸挤压固定，所述第一电机的第一转轴贯穿竖板；通过给上料流道增加了Y方向的拍板气缸，当晶圆移动到Y方向拍板气缸的正上方时，Y拍板气缸将晶圆拍正，当晶圆移动到X方向气缸正上方时，X拍板气缸从晶圆下面升上来把晶圆拍打固定位置，有效的保证了每一片晶圆移动到伯努利吸盘下方，使得晶圆在XY两个方向都一致，确保了加工精度。

主权项

1.一种晶圆定位流道装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）的右侧面设有第一电机（2），所述第一电机（2）和所述机架（1）焊接固定，Y方向拍板气缸（3）位于所述机架（1）的上表面左端处，且与所述机架（1）固定连接，拍板（4）通过所述Y方向拍板气缸（3）位于第一传送带（5）上方，所述拍板（4）与所述Y方向拍板气缸（3）挤压固定，所述第一电机（2）的第一转轴贯穿竖板（15），所述竖板（15）与所述第一电机（2）固定连接，第一电机（2）的第一转轴转动连接第二滚筒（13），所述第二滚筒（13）位于所述竖板（15）前表面，皮带（14）套设在所述第二滚筒（13）和第一滚筒（11）上，所述第二滚筒（13）与所述皮带（14）转动连接，所述第一滚筒（11）和所述皮带（14）转动连接，第一传送带（5）套设在所述第一滚筒（11）的外侧面且在所述Y方向拍板气缸（3）和X方向拍板气缸（6）的上方所述拍板（4）的下方，所述第一传送带（5）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述竖板（15）远离所述第一电机（2）的一端被第一滚筒（11）的前端所贯穿，所述第一传送带（5）的左侧靠近所述机架（1）上表面设有X方向拍板气缸（6），所述X方向拍板气缸（6）与所述机架（1）转动连接，电机固定座（16）位于所述机架（1）的上表面靠近所述X方向拍板气缸（6）远离所述Y方向拍板气缸（3）的一侧，所述电机固定座（16）与所述机架（1）焊接固定，所述电机固定座（16）的上表面设有电机壳（8），所述电机壳（8）与所述电机固定座（16）焊接固定，所述电机壳（8）内部设有容腔,所述容腔内设有第二电机，所述第二电机与所述电机壳（8）焊接固定，旋转手臂（7）位于所述电机壳（8）的上方通过所述第二电机的第二转轴转动连接，所述旋转手臂（7）的上表面转动手柄处固定设有伯努利吸盘（17），所述机架（1）的后表面左端上方通过固定柱底端固定设有料盒（9），第三电机（12）位于所述机架（1）左侧面且与所述机架（1）焊接固定，第二传送带（10）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述竖板（15）远离所述第三电机（12）的一端被第一滚筒（11）的前端所贯穿，所述竖板（15）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述第一滚筒（11）远离所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接。