[实用新型]一种晶圆定位流道装置

权利要求书

1.一种晶圆定位流道装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）的右侧面设有第一电机（2），所述第一电机（2）和所述机架（1）焊接固定，Y方向拍板气缸（3）位于所述机架（1）的上表面左端处，且与所述机架（1）固定连接，拍板（4）通过所述Y方向拍板气缸（3）位于第一传送带（5）上方，所述拍板（4）与所述Y方向拍板气缸（3）挤压固定，所述第一电机（2）的第一转轴贯穿竖板（15），所述竖板（15）与所述第一电机（2）固定连接，第一电机（2）的第一转轴转动连接第二滚筒（13），所述第二滚筒（13）位于所述竖板（15）前表面，皮带（14）套设在所述第二滚筒（13）和第一滚筒（11）上，所述第二滚筒（13）与所述皮带（14）转动连接，所述第一滚筒（11）和所述皮带（14）转动连接，第一传送带（5）套设在所述第一滚筒（11）的外侧面且在所述Y方向拍板气缸（3）和X方向拍板气缸（6）的上方所述拍板（4）的下方，所述第一传送带（5）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述竖板（15）远离所述第一电机（2）的一端被第一滚筒（11）的前端所贯穿，所述第一传送带（5）的左侧靠近所述机架（1）上表面设有X方向拍板气缸（6），所述X方向拍板气缸（6）与所述机架（1）转动连接，电机固定座（16）位于所述机架（1）的上表面靠近所述X方向拍板气缸（6）远离所述Y方向拍板气缸（3）的一侧，所述电机固定座（16）与所述机架（1）焊接固定，所述电机固定座（16）的上表面设有电机壳（8），所述电机壳（8）与所述电机固定座（16）焊接固定，所述电机壳（8）内部设有容腔,所述容腔内设有第二电机，所述第二电机与所述电机壳（8）焊接固定，旋转手臂（7）位于所述电机壳（8）的上方通过所述第二电机的第二转轴转动连接，所述旋转手臂（7）的上表面转动手柄处固定设有伯努利吸盘（17），所述机架（1）的后表面左端上方通过固定柱底端固定设有料盒（9），第三电机（12）位于所述机架（1）左侧面且与所述机架（1）焊接固定，第二传送带（10）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述竖板（15）远离所述第三电机（12）的一端被第一滚筒（11）的前端所贯穿，所述竖板（15）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述第一滚筒（11）远离所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述Y方向拍板气缸（3）与所述机架（1）固定连接，所述Y方向拍板气缸（3）的左侧夹板与所述Y方向拍板气缸（3）的第一推杆连接，不与所述Y方向拍板气缸（3）与机架（1）固定的底板相接处。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述Y方向拍板气缸（3）上有一个刚好与所述第一传送带（5）在竖直方向上拥有同一个高度的拍板撑柱，所述Y方向拍板气缸（3）与所述拍板撑柱固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述伯努利吸盘（17）的数量为四个，四个所述伯努利吸盘（17）均固定连接在所述旋转手臂（7）的上表面手柄处。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述第一滚筒（11）、所述第二滚筒（13）、所述皮带（14）和所述竖板（15）的数量均为两个，所述第二传送带（10）和一个所述第一滚筒（11）转动连接，一个所述竖板（15）远离所述第三电机（12）的一端被一个所述第一滚筒（11）的前端所贯穿，一个所述竖板（15）和一个所述第一滚筒（11）转动连接，一个所述第一滚筒（11）远离一个所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接，所述第一传送带（5）和另一个所述第一滚筒（11）转动连接，另一个所述竖板（15）远离所述第一电机（2）的一端被另一个所述第一滚筒（11）的前端所贯穿，另一个所述竖板（15）和另一个所述第一滚筒（11）转动连接，另一个所述第一滚筒（11）远离另一个所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接。