[实用新型]一种氮化硅制备装置及制备系统有效
| 申请号： | 201820826775.8 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208292879U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 颜井意;杜建周;黄燕梅;杨子润 | 申请（专利权）人： | 江苏东浦精细陶瓷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/626 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 齐云 |
| 地址： | 222000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种氮化硅制备装置及制备系统，属于机械设计及制备领域。本实用新型通过上述设计得到的氮化硅制备装置；通过将反应釜设置在中间腔，通过加热装置，加热反应釜，有利于反应充分利用加热装置的功能，且通过反应箱源，能保证热量不散失，利于形成较好的温度气氛，提高氮化硅制备装置的制备效率；利用了氮化硅制备装置的制备系统，也能较好的制备高纯度的氮化硅粉末。 | ||
| 搜索关键词： | 制备装置 氮化硅 制备系统 制备 本实用新型 加热装置 氮化硅粉末 加热反应釜 机械设计 温度气氛 反应釜 反应箱 高纯度 中间腔 保证 | ||
【主权项】：
1.一种氮化硅制备装置，其特征在于，包括：反应箱，所述反应箱由箱侧壁、底板和箱顶板构成，所述箱侧壁、所述底板和所述箱顶板围成中间腔；反应釜，所述反应釜设置于所述中间腔，所述反应釜与所述底板固定连接；加热装置，所述加热装置加热所述反应釜中的反应原料；气体管，所述气体管设置于所述底板，所述气体管与所述中间腔连通。
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