[实用新型]一种氮化硅制备装置及制备系统

说明书

本实用新型提供了一种氮化硅制备装置及制备系统，属于机械设计及制备领域。本实用新型通过上述设计得到的氮化硅制备装置；通过将反应釜设置在中间腔，通过加热装置，加热反应釜，有利于反应充分利用加热装置的功能，且通过反应箱源，能保证热量不散失，利于形成较好的温度气氛，提高氮化硅制备装置的制备效率；利用了氮化硅制备装置的制备系统，也能较好的制备高纯度的氮化硅粉末。

技术领域

本实用新型涉及机械设计及制备领域，具体而言，涉及一种氮化硅制备装置及制备系统。

背景技术

氮化硅陶瓷，是一种烧结时不收缩的无机材料陶瓷。氮化硅的强度很高，尤其是热压氮化硅，是世界上最坚硬的物质之一。具有高强度、低密度、耐高温等性质。

目前，气相法生产氮化硅粉末的方法，由于加热不均匀，还是会影响氮化硅粉末的纯度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种氮化硅制备装置，通过设置的加热装置，能更好加热，维持热量的均衡，保证氮化硅制备反应稳定高效的进行。

本实用新型的另一目的在于提供一种氮化硅制备系统，该制备系统可以大量高效的准备氮化硅粉末。

本实用新型是这样实现的：

一种氮化硅制备装置，包括：

反应箱，反应箱由箱侧壁、底板和箱顶板构成，箱侧壁、底板和箱顶板围成中间腔；

反应釜，反应釜设置于中间腔，反应釜与底板固定连接；

加热装置，加热装置加热反应釜中的反应原料；

气体管，气体管设置于箱顶板，气体管与中间腔连通。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，箱侧壁、底板和箱顶板均包括镜面层、隔热层和外壁层，镜面层为靠近中间腔的内层。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，反应釜为坩埚反应器。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，底板设置有底砧，坩埚反应器通过底砧与底板连接。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，底砧包括隔热板和垫板，底砧与隔热板连接，垫板设置有连接耳，垫板通过连接耳与底板固定连接。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，加热装置包括激光器，激光器设置于箱顶板。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，加热装置还包括电加热器，电加热器与坩埚反应器连接。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，坩埚反应器的外壁设置有环形突出部，电加热器设置于相邻两个环形突出部之间。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，气体管设置有流量调节阀。

一种氮化硅制备系统，氮化硅制备系统包括上述的氮化硅制备装置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的氮化硅制备装置；通过将反应釜设置在中间腔，通过加热装置，加热反应釜，有利于反应充分利用加热装置的功能，且通过反应箱源，能保证热量不散失，利于形成较好的温度气氛，提高氮化硅制备装置的制备效率；利用了氮化硅制备装置的制备系统，也能较好的制备高纯度的氮化硅粉末。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施1提供的氮化硅制备装置的示意图；