[实用新型]太阳能电池扩散用石英炉有效
| 申请号： | 201820810554.1 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208219014U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 沈健锋;赵福祥;金起弘 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用石英炉，它包括炉管、自炉管的炉尾插入炉管内的进气管和尾气管，进气管和尾气管均平行于炉管的轴向设置。进气管插入炉管内的上部，尾气管插入炉管内的下部，进气管和尾气管的长度相同，进气管和尾气管上均开设有均匀分布的多个小孔，且从炉尾至炉口，小孔的尺寸由小变大。本太阳能电池扩散用石英炉，相较现有技术，改进了进气管的长度及连接位置，同时将进气管和尾气管都改进为带有不同尺寸小孔的长管，这样扩散工艺运行过程中，气体源是从炉管内上方喷淋而下，废气在下方进入尾气管排出，使气体源在硅片整面都能得到均匀的扩散。从而改进了硅片扩散方块电阻的均匀性，进而提高太阳能电池转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 进气管 尾气管 炉管 太阳能电池 石英炉 扩散 气体源 炉尾 小孔 太阳能电池转换效率 本实用新型 改进 尺寸小孔 方块电阻 硅片扩散 扩散工艺 连接位置 运行过程 轴向设置 均匀性 硅片 长管 炉口 排出 喷淋 废气 平行 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池扩散用石英炉，它包括炉管（1）、自所述炉管（1）的炉尾插入炉管（1）内的进气管（2）和尾气管（3），所述进气管（2）和尾气管（3）均平行于炉管（1）的轴向设置，其特征在于：所述进气管（2）插入所述炉管（1）内的上部，所述尾气管（3）插入所述炉管（1）内的下部，所述进气管（2）和尾气管（3）的长度相同，所述进气管（2）和尾气管（3）上均开设有均匀分布的多个小孔（4），且从炉尾至炉口，所述小孔（4）的尺寸由小变大。
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- 本实用新型公开了一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，包括喷淋管、石英管、插片卡槽、接液瓶和排气箱，所述喷淋管通过卡扣与石英管内壁连接，所述喷淋管的左侧设置有进气口，且喷淋孔设置在喷淋管右端，所述石英管左侧设置有细管口，且石英管右侧设置有后密封塞，所述石英管内部设置有插片卡槽，且插片卡槽上固定有插片，所述石英管底部固定有排废管，且排废管左边与接液瓶连接，所述接液瓶设置有废液进口，且废液出口设置有废液出口，所述接液瓶顶部和底部均安装有缓冲阀，所述废液出口左端与冷却瓶的右侧连接，且冷却瓶的顶部通过导管与排气箱连接。本实用新型减少了硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性。
- 一种防堵光伏扩散尾气装置-201620836754.5
- 周典儒;孔海洋;杨强;王仕鹏;黄海燕;陆川 - 浙江正泰太阳能科技有限公司
- 2016-08-02 - 2017-07-18 - C30B31/16
- 本实用新型公开了一种防堵光伏扩散尾气装置，所述防堵光伏扩散尾气装置包括尾气球头、尾气管；所述尾气球头的前端与扩散炉的尾部相连接，所述尾气球头的后端与所述尾气管大球碗相连接；所述尾气管的后端与废液瓶相连接；所述尾气球头与所述尾气管之间设置有球夹；所述尾气管与所述废液瓶之间，近所述废液瓶端设置有球夹；在所述废液瓶前端小管、尾气管和尾气球头外侧包裹有保温装置。本实用新型提供的防堵光伏尾气扩散装置可有效解决尾气管及尾气球头堵塞、腐蚀问题，节省了备件及维修成本，增加了设备运行率。
- 一种扩散源瓶-201620772589.1
- 晏文春;党继东;郑旭然;刘东旭;李栋 - 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
- 2016-07-21 - 2017-06-20 - C30B31/16
- 本实用新型公开了一种扩散源瓶，包括源瓶本体，所述源瓶本体的相对的两端均开设有通气孔，一端的通气孔连接进气管，另一端的通气孔连接出气管，所述出气管的连接的通气孔的位于底部，所述进气管的连接的通气孔的位于顶部。在实际使用的时候，不需要区分进气管和出气管与源瓶本体上的通气孔的连接关系，将进气管和出气管分别连接在源瓶本体的两端的通气孔上，再放置源瓶本体，使与进气管连接的通气孔位于下端，与出气管连接的通气孔位于上端即可，使用方便，不存在连接出错的问题，避免了危险，且进气管和出气管直接连接在通气孔，不需要深入到源瓶本体中，气体直接从源瓶本体的底端的通气孔直接进入溶液中，能最大限度的利用溶液，减少浪费。
- 一种进抽气两用石英管及扩散装置-201621044417.9
- 徐义胜;曹铭;黄浩;张春华;衡阳;郑旭然;邢国强 - 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
- 2016-09-08 - 2017-05-24 - C30B31/16
- 本实用新型公开了一种进抽气两用石英管及扩散装置；进抽气两用石英管包括管体，管体的前端设置有球碗结构，管体的后端封闭，管体的中部沿其轴向设置有若干个气孔，若干个气孔的直径沿管体的轴向从前到后呈阶梯型增大，相邻的两个气孔的间距沿管体的轴向从前到后呈阶梯型减小；本实用新型的进抽气两用石英管既可以作为进气管使用，也可以作为抽气管使用，装配时不需要区分，使得安装更加方便；气孔的直径及相邻的两个气孔的间距的不同，可减少因气孔位置不同而影响其进气或抽气能力，使得扩散气体的流动更加均匀，可以有效改善方块电阻的均匀度，提升电池片的性能。
- 一种扩散炉-201621076102.2
- 曹铭;衡阳;王鹏飞;陈萍;张春华;徐义胜;郑旭然;邢国强 - 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
- 2016-09-23 - 2017-05-24 - C30B31/16
- 本实用新型公开了一种扩散炉，包括炉体，炉体内设置有用于装载硅片的石英舟，石英舟的下方设置有末端封闭的排气管，排气管包括设置于排气管的顶部且沿轴向排布的多个排气孔和设置于排气孔上方的排气旁管，每个排气孔均对应连通一个排气旁管，炉体上还设置有供石英舟进出炉体的进出口，进出口上设置有炉门。排气管的末端封闭，避免排气管从尾部收集气体，影响硅片周围气体的流动方向，影响POCl3的浓度均匀分布。排气旁管可以比较贴近硅片的底部，从硅片的底边缘附近收集气体，降低了硅片的底边缘的气体压力，增加硅片之间的气体向下流动的动力，增加硅片之间气体流动性，降低硅片表面POCl3浓度差，降低硅片的方块电阻差异，提高方块电阻均匀性。
- 用于扩散工序的源瓶-201621006289.9
- 邱军辉;缪乾;王雪亮;程芳;陆佳;罗茂盛;张俊鹏 - 江阴鑫辉太阳能有限公司
- 2016-08-30 - 2017-04-19 - C30B31/16
- 本实用新型提供了用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。
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