[实用新型]一种稳定型固晶结构有效
| 申请号: | 201820810118.4 | 申请日: | 2018-05-28 |
| 公开(公告)号: | CN208336160U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
| 发明(设计)人: | 秦丽平;许卫林 | 申请(专利权)人: | 东莞市佳骏电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 | 代理人: | 何新华 |
| 地址: | 523808 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型系提供一种稳定型固晶结构,包括机架,机架上设有中空电机、升降电机和转动座,中空电机的输出端与转动座固定连接;中空电机包括电机本体和空心轴,空心轴内设有升降联动杆;升降电机的输出端固定有凸轮,凸轮位于升降联动杆的正上方;转动座的底部固定有升降滑座,升降滑座的一侧滑动连接有升降滑块,升降滑块位于升降联动杆的正下方,升降滑块通过复位传动块连接有复位弹簧;升降滑块固定有摆臂,摆臂远离升降滑块的一端固定有真空吸头。本实用新型能够使驱动力具有针对性地作用于摆臂上,防止驱动力作用于其他不需要运动的部件上,能够有效提高固晶动作的稳定性和可靠性,从而能够有效提高固晶精度。 | ||
| 搜索关键词: | 升降滑块 固晶 升降联动 中空电机 转动座 摆臂 本实用新型 升降电机 升降滑座 空心轴 输出端 稳定型 电机本体 复位弹簧 滑动连接 真空吸头 传动块 驱动力 复位 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种稳定型固晶结构,其特征在于,包括机架(10),所述机架(10)上设有中空电机(20)、升降电机(30)和转动座(40),所述中空电机(20)的输出端沿z轴转动,所述升降电机(30)沿x轴转动,所述中空电机(20)的输出端与所述转动座(40)固定连接,所述转动座(40)通过轴承与所述机架(10)连接;所述中空电机(20)包括电机本体(201)和空心轴(202),所述空心轴(202)内设有沿x轴设置的升降联动杆(21);所述升降电机(30)的输出端固定有凸轮(31),所述凸轮(31)位于所述升降联动杆(21)的正上方;所述转动座(40)设有让位通孔(401),所述升降联动杆(21)的下部穿过所述让位通孔(401)设置,所述转动座(40)的底部固定有升降滑座(41),所述升降滑座(41)的一侧滑动连接有升降滑块(42),所述升降滑块(42)位于所述升降联动杆(21)的正下方,所述升降滑块(42)通过复位传动块(43)连接有复位弹簧(44),所述复位弹簧(44)沿z轴设置于所述升降滑座(41)中;所述升降滑块(42)固定有摆臂(50),所述摆臂(50)远离所述升降滑块(42)的一端固定有真空吸头(51)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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