[实用新型]一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构

摘要

本实用新型涉及一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构，包括基板、顶面绝缘层、底面绝缘层、加热器，顶面绝缘层、底面绝缘层分别设置在基板上的顶面和底面，加热器设置在基板的中部；顶面绝缘层上对称分置于加热器上端面四侧设有4组声表面波谐振器；底面绝缘层上设有输入信号电极、输出信号电极、接地电极；基板封接有封帽，基板为正方形基板；通过本实用新型，采用声表面波谐振器作为感测元件，输出信号为准数字的谐振频率或振荡频率，易于实现高分辨率、高精度的测量，且便于对测量结果作进一步的数字化处理；采用常规的微机械加工工艺，并采用正方形截面的基板和盖帽结构，便于采用圆片级封装技术，适合于批量化生产。

主权项

1.一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构，其特征是：包括基板（1）、顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）、加热器（2），顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）分别设置在基板（1）上的顶面和底面，加热器（2）设置在基板（1）的中部；所述顶面绝缘层（11）上对称分置于加热器（2）上端面四侧设有4组声表面波谐振器（3）；所述底面绝缘层（12）上设有输入信号电极（35）、输出信号电极（36）、接地电极（37）；所述基板（1）封接有封帽（4），基板（1）为正方形基板；所述加热器（2）包括圆形加热板（21）、加热电极（27）、加热地电极（28）、中心电极（22）、环形电极（23），圆形加热板（21）设置于基板（1）顶面正中且嵌入顶面绝缘层（11）内，加热电极（27）、加热地电极（28）设置于底面绝缘层（12）上，中心电极（22）、环形电极（23）贯穿基板（1）和顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）且连接圆形加热板（21）与加热电极（27）、加热地电极（28），所述环形电极（23）环绕中心电极（22），中心电极（22）、环形电极（23）之间由包含第一绝缘层（24）、基板（1）、第二绝缘层（25）的复合隔离层所隔离；所述环形电极（23）和基板（1）侧壁之间由第三绝缘层（26）所隔离；所述第一绝缘层（24）、第二绝缘层（25）、第三绝缘层（26）的两端分别与基板（1）上的顶面绝缘层（11）和底面绝缘层（12）相接；每组声表面波谐振器中的各个声表面波谐振器（3）横向并列，且从内到外，各个声表面波谐振器（3）的谐振频率依次递减，所述各组声表面波谐振器中相同位置的声表面波谐振器谐振频率相同；所述声表面波谐振器（3）包括1个叉指换能器（31）、分置于叉指换能器（31）两侧的2个反射器（32）以及覆盖于叉指换能器（31）和反射器（32）上的压电薄膜（33）；所述叉指换能器（31）包括叉指阵列（311）及其两端的输入汇流电极（312）、输出汇流电极（313）；所述反射器（32）包括短路反射指阵列（321）及其两端的接地汇流电极（322）；所述基板（1）上设有贯穿基板（1）、顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）的金属过孔（34）；所述输入汇流电极（312）、输出汇流电极（313）、接地汇流电极（322）分别通过贯穿基板（1）和顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）的金属过孔（34）与基板（1）背面的输入信号电极（35）、输出信号电极（36）、接地电极（37）相连；金属过孔（34）与基板（1）侧壁之间由过孔绝缘层（341）隔离，过孔绝缘层（341）的两端分别与基板（1）顶面绝缘层（11）和底面绝缘层（12）相接；所述封帽（4）为外方内方截面的半中空结构，基板（1）顶面四边去除原先覆盖的顶面绝缘层（11）形成封接区（13），所述封帽（4）下端面与基板（1）顶面四边的封接区（13）键合，形成一个正方形截面的立体封闭微腔（42），所述封帽（4）顶部设有注液孔（41），通过注液孔（41）向封闭微腔（42）注入工作液体（5），然后胶封注液孔（41）。