[实用新型]一种声表面波谐振器型热对流式双轴加速度计结构

摘要

本实用新型涉及一种声表面波谐振器型热对流式双轴加速度计结构，包括基板、顶面绝缘层、底面绝缘层、加热器，顶面绝缘层、底面绝缘层分别设置在基板的上表面和下表面，加热器设置在基板的中部；所述基板顶面绝缘层上对称分布于加热器上端面四侧设有4个同频率的声表面波谐振器；所述底面绝缘层上设有输入信号电极、输出信号电极、接地电极；所述基板封接有封帽，顶面绝缘层四边设有封接区，基板为正方形基板。通过本实用新型，采用声表面波谐振器作为感测元件，输出信号为准数字的谐振频率，分辨率高、测量精度高，便于对测量结果作进一步的数字化处理；采用常规的微机械加工工艺，并采用正方形基板和封帽结构，适合于批量化生产。

主权项

1.一种声表面波谐振器型热对流式双轴加速度计结构，其特征是：包括基板（1）、顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）、加热器（2），顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）分别设置在基板（1）的上表面和下表面，加热器（2）设置在基板（1）的中部；所述基板（1）顶面绝缘层（11）上对称分布于加热器（2）上端面四侧设有4个同频率的声表面波谐振器（3）；所述底面绝缘层（12）上设有输入信号电极（35）、输出信号电极（36）、接地电极（37）；所述基板（1）封接有封帽（4），顶面绝缘层（11）四边设有封接区（13），基板（1）为正方形基板；所述加热器（2）包括圆形加热板（21）、加热电极（24）、加热地电极（25）、中心电极（22）、环形电极（23），圆形加热板（21）嵌于基板（1）顶面正中基板顶面绝缘层（11）内，中心电极（22）、环形电极（23）贯穿基板（1）和顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12），且环形电极（23）环绕中心电极（22），加热电极（24）、加热地电极（25）设置于基板（1）底面绝缘层（12）上；所述圆形加热板（21）通过中心电极（22）和环形电极（23）与加热电极（24）和加热地电极（25）相连，所述环形电极（23）与中心电极（22）之间由包含第一绝缘层（26）、基板（1）层、第二绝缘层（27）的复合隔离层隔离，所述环形电极（23）与基板（1）侧壁之间由第三绝缘层（28）隔离，所述第一绝缘层（26）、第二绝缘层（27）、第三绝缘层（28）的两端分别与基板（1）的顶面绝缘层（11）和底面绝缘层（12）相接；所述声表面波谐振器（3）包括1个叉指换能器（31）、分置于叉指换能器（31）两侧的2个反射器（32）和压电薄膜块（33），所述叉指换能器（31）包括叉指阵列（311）及其两端的输入汇流电极（312）、输出汇流电极（313），所述反射器（32）包括短路反射指阵列（321）及其两端的接地汇流电极（322），所述压电薄膜块（33）制作在基板顶面绝缘层（11）上，所述叉指阵列（311）和短路反射指阵列（321）制作在压电薄膜块（33）上，所述输入汇流电极（312）、输出汇流电极（313）和接地汇流电极（322）制作在压电薄膜块（33）两侧的基板顶面绝缘层（11）上；所述基板（1）上设有贯穿基板（1）、顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）的金属过孔（34）；输入汇流电极（312）、输出汇流电极（313）和接地汇流电极（322）分别通过贯穿基板（1）和顶面绝缘层（11）、底面绝缘层（12）的金属过孔（34）与基板（1）底面的输入信号电极（35）、输出信号电极（36）和接地电极（37）相连，金属过孔（34）与基板（1）侧壁之间由过孔绝缘层（341）隔离，所述过孔绝缘层（341）的两端分别与基板（1）顶面绝缘层（11）和底面绝缘层（12）相接；所述封帽（4）为外方内圆截面的半中空结构，所述基板（1）顶面绝缘层（11）的四边覆盖金属层形成封接区（13），封接区（13）与封帽（4）下端面同形，封帽（4）的下端面与基板（1）顶面四边的封接区（13）键合，形成一个圆柱形截面的立体封闭微腔（41）。