[实用新型]一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器，所述光学压力传感器主要构成为：刻蚀有脊形波导阵列的基底，在其表面溅射一层金属膜，外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap)在特定频率光子激发下形成Gap‑SPP。压力使基底发生形变，进而使阵列之间gap的大小改变，进而引起SPP波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本实用新型基于SPP共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器，本实用新型对光纤距离敏感膜的距离不敏感，因此可以减少温度的影响，同时易于加工制造。

主权项

1.一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器，其特征在于，包括基底；所述基底的上表面设有金属纳米波导阵列，下表面为受压面；所述金属纳米波导阵列上方设有光纤，所述光纤包括将外界光源发出的入射光导向所述金属纳米波导阵列的第一光纤和吸收所述金属纳米波导阵列的反射光并将所述反射光导向外界光谱仪的第二光纤；所述金属纳米波导阵列在所述入射光的激发下形成表面等离激元效应；所述受压面受到压力发生形变导致所述金属纳米波导阵列之间的间隙大小发生变化，从而使所述反射光的光谱发生变化。