[实用新型]一种自动换晶膜系统有效
| 申请号: | 201820309523.8 | 申请日: | 2018-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN208489172U | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
| 发明(设计)人: | 唐文轩;杨世国 | 申请(专利权)人: | 深圳市微恒自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 欧志明 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区平湖街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型适用于自动化生产领域,提供了一种自动换晶膜系统,包括:包括取晶膜移位机构、晶膜升降机构、晶膜回收机构及旋转晶膜机构。取晶膜移位机构,能够从晶膜升降机构中取走带有晶片的晶膜,并转送给旋转晶膜机构,待旋转晶膜机构吸取走晶膜中的晶片后,取晶膜移位机构再将内部无晶片的晶膜取走并放入晶膜回收机构中。本实用新型的自动换晶膜系统,实现了上下晶膜的自动化,不再需要通过人工来更换晶膜,大大提高了固晶机的工作效率,从而提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 移位机构 膜系统 晶片 本实用新型 升降机构 膜回收 自动化 工作效率 生产效率 固晶机 放入 | ||
【主权项】:
1.一种自动换晶膜系统,其特征在于,所述自动换晶膜系统包括:取晶膜移位机构、晶膜升降机构、晶膜回收机构及旋转晶膜机构;所述取晶膜移位机构包括安装座、伸缩杆、第一控制电机、第二控制电机、两个气缸及两个晶膜吸取装置;所述第一控制电机设置在所述安装座上,所述安装座沿其长度方向设置有导轨,所述第一控制电机的输出轴通过第一传动组件与所述伸缩杆连接,所述伸缩杆安装在所述导轨中,并能在所述第一控制电机的控制下在所述导轨中做伸缩运动;所述伸缩杆的伸出端安装有第二控制电机,所述第二控制电机的两侧分别安装有两个所述气缸,所述第二控制电机能控制两个所述气缸在水平方向转动,两个所述气缸的输出轴各连接有一个所述晶膜吸取装置,并能控制所述晶膜吸取装置沿垂直方向运动;所述晶膜升降机构包括基架、第三控制电机及晶膜升降台;所述第三控制电机的输出轴与所述晶膜升降台通过第二传动组件连接,并能控制所述晶膜升降台在垂直方向上运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





