[实用新型]一种单晶制绒整线自动化上下料机有效
| 申请号： | 201820274462.6 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN207852637U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 梁明刚 | 申请（专利权）人： | 广东启天自动化智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 泰州地益专利事务所 32108 | 代理人： | 谭建成 |
| 地址： | 523637 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶制绒整线自动化上下料机，包括：满花篮缓存结构，设有一个花篮缓存位；空花篮上篮结构，设有一个花篮缓存位；机器人，所述机器人为六轴机器人；所述机器人与机械手夹手连接；双吸入盘横移结构，由三组横移机械手构成，每组所述横移机械手设有两个吸盘位；每组所述横移机械手分别与双吸入盘带升降结构连接；叠片上料架上料皮带线组，设置三组相互独立的所述叠片上料架上料皮带线；叠片下料架回流结构，设置三组相互独立的所述叠片下料架回流结构。本实用新型的有益效果为将上料机、清洗、下料连接到一起的全自动生产线减少人员和空间浪费，设备稳定性好，自动化程度高；碎片率低，对硅片污染小，工作效率有效提高。 | ||
| 搜索关键词： | 叠片 机械手 花篮 横移 缓存 本实用新型 单晶制绒 回流结构 上料皮带 上下料机 自动化 上料架 吸入盘 下料架 机器人 吸盘 全自动生产线 六轴机器人 设备稳定性 工作效率 硅片污染 横移结构 缓存结构 机械手夹 升降结构 上料机 碎片率 上篮 下料 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种单晶制绒整线自动化上下料机，其特征在于：包括满花篮缓存结构，设有一个花篮缓存位；空花篮上篮结构，设有一个花篮缓存位；机器人，所述机器人为六轴机器人；所述机器人与机械手夹手连接；双吸入盘横移结构，由三组横移机械手构成，每组所述横移机械手设有两个吸盘位；每组所述横移机械手分别与双吸入盘带升降结构连接；叠片上料架上料皮带线组，设置三组相互独立的所述叠片上料架上料皮带线；叠片下料架回流结构，设置三组相互独立的所述叠片下料架回流结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
