[实用新型]一种高速装片机

摘要

本实用新型提供一种高速装片机，包括吸盘运动组件、硅片承载盒运动组件和篮具运动组件；所述吸盘运动组件，包括：双吸盘结构和吸盘左右运动机构；所述硅片承载盒运动组件，包括承载盒硅片顶升机构、硅片承载盒滑台机构和硅片输送机构；所述篮具运动组件，包括篮具升降机构、篮具定位机构、蓝具引导装置和蓝具皮带输送线。本实用新型的有益效果为稳定性好，自动化程度高，减少空间浪费，实现无人化车间；碎片率低，对硅片污染小，工作效率有效提高，结构合理，稳定性好。

主权项

1.一种高速装片机，其特征在于：包括吸盘运动组件、硅片承载盒运动组件和篮具运动组件；所述吸盘运动组件，包括：双吸盘结构和吸盘左右运动机构；所述双吸盘结构与吸盘左右运动机构连接；所述硅片承载盒运动组件，包括承载盒硅片顶升机构、硅片承载盒滑台机构和硅片输送机构；所述承载盒硅片顶升机构与硅片承载盒滑台机构连接，所述硅片承载盒滑台机构与所述硅片输送机构连接；所述硅片输送机构与所述篮具硅片插入机构连接；所述篮具运动组件，包括篮具升降机构、篮具定位机构、蓝具引导装置和蓝具皮带输送线；所述篮具定位机构与所述蓝具引导装置连接；所述篮具升降机构与所述蓝具皮带输送线连接；所述吸盘运动组件、硅片承载盒运动组件、篮具运动组件通过机架固定连接；每组吸盘吸取两片硅片，且每组吸盘移动范围为上下左右四个方向。