[实用新型]一种高速装片机有效
| 申请号: | 201820274170.2 | 申请日: | 2018-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN207765429U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
| 发明(设计)人: | 梁明刚 | 申请(专利权)人: | 广东启天自动化智能装备股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 泰州地益专利事务所 32108 | 代理人: | 谭建成 |
| 地址: | 523637 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 运动组件 篮具 硅片承载盒 本实用新型 吸盘运动 装片机 吸盘 硅片输送机构 左右运动机构 皮带输送线 顶升机构 定位机构 工作效率 硅片污染 滑台机构 升降机构 引导装置 承载盒 双吸盘 碎片率 无人化 硅片 自动化 车间 | ||
本实用新型提供一种高速装片机,包括吸盘运动组件、硅片承载盒运动组件和篮具运动组件;所述吸盘运动组件,包括:双吸盘结构和吸盘左右运动机构;所述硅片承载盒运动组件,包括承载盒硅片顶升机构、硅片承载盒滑台机构和硅片输送机构;所述篮具运动组件,包括篮具升降机构、篮具定位机构、蓝具引导装置和蓝具皮带输送线。本实用新型的有益效果为稳定性好,自动化程度高,减少空间浪费,实现无人化车间;碎片率低,对硅片污染小,工作效率有效提高,结构合理,稳定性好。
技术领域
本实用新型属于太阳能电池制造设备领域,尤其是涉及一种高速装片机。
背景技术
太阳能电池是通过光电效应或者光学效应直接把光能转化成电能的装置。以光电效应工作的精硅太阳能电池为主流,而以光化学效应工作的薄膜电池实施太阳能电池则属于萌芽阶段。
目前太阳能电池制造过程中,包含有多个工序,如硅片清洗、制绒、等,在上述的工序中都需要将硅片装入篮具中及料盒中相互替换下来。现有技术中,都习惯采用人工的方式操作,该方式容易出现碎片率高、对硅片的污染大、效率低等问题、浪费人力物力。
因此,亟待本领域技术人员攻克上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种高速装片机,能够解决上述问题。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是这样实现的:一种高速装片机,包括吸盘运动组件、硅片承载盒运动组件和篮具运动组件;吸盘运动组件,包括:双吸盘结构和吸盘左右运动机构;双吸盘结构与吸盘左右运动机构连接;硅片承载盒运动组件,包括承载盒硅片顶升机构、硅片承载盒滑台机构和硅片输送机构;承载盒硅片顶升机构与硅片承载盒滑台机构连接,硅片承载盒滑台机构与硅片输送机构连接;硅片输送机构与篮具硅片插入机构连接;篮具运动组件,包括篮具升降机构、篮具定位机构、蓝具引导装置和蓝具皮带输送线;篮具定位机构与蓝具引导装置连接;篮具升降机构与蓝具皮带输送线连接;吸盘运动组件、硅片承载盒运动组件、篮具运动组件通过机架固定连接;每组吸盘吸取两片硅片,且每组吸盘移动范围为上下左右四个方向。
优选地,还包括:硅片缓存机构,硅片缓存机构与硅片输送机构连接。
优选地,还包括矫正组件,其包括:缓存盒前硅片矫正机构和篮具前硅片矫正机构;缓存盒前硅片矫正机构与硅片缓存机构连接;篮具前硅片矫正机构与篮具定位机构连接。
优选地,硅片缓存机构上还设有换篮过渡期暂存硅片装置,每个过渡期换篮过渡期暂存硅片装置可放置硅片为n,其中,n≤49。
优选地,承载盒滑台机构上分别连接有承载盒定位装置和承载盒固定装置;承载盒硅片顶升机构上还连接有感应器,以检测承载盒上有无装载硅片。
优选地,篮具硅片插入机构上设有可伸缩机构和检测硅片是否插入篮具的感应器。
优选地,篮具定位机构上设有检测篮具到位的感应器和篮具压紧气缸。
优选地,所述吸盘运动组件、硅片承载盒运动机构、篮具运动组件通过人机界面进行控制。
本实用新型具有的优点和积极效果是:
1)本实用新型结构合理,稳定性好,自动化程度高,减少空间浪费,实现无人化车间。
2)本实用新型碎片率低,对硅片污染小,工作效率有效提高。
附图说明
图1为本实用高速装片机结构示意主视图。
图2为本实用高速装片机结构示意俯视图。
图3为本实用高速装片机结构示意侧视图。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





