[实用新型]卡盘销和工件清洗装置有效
| 申请号： | 201820235544.X | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207868183U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李丹;高英哲;崔亚东;张文福 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种卡盘销和工件清洗装置，所述卡盘销用于夹持设置在卡盘上的工件。所述卡盘销和工件清洗装置包括卡盘销主体、连接件、定位销和旋转件。所述连接件与所述卡盘销主体可拆卸连接。所述定位销与所述连接件固定连接，用于夹持所述工件。所述旋转件与所述卡盘销主体固定连接，用于带动所述定位销转动。所述旋转件与所述定位销偏心设置。本实用新型中由于连接件与卡盘销主体可拆卸连接，定位销与连接件固定连接，旋转件与卡盘销主体固定连接，因此当定位销损坏时将连接件和定位销从卡盘销主体上拆卸下来即可，无需更换整个卡盘销，因此可节约实际生产中维修保养时间，提高产量，此外，还可节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 定位销 连接件 旋转件 工件清洗装置 本实用新型 可拆卸连接 夹持 偏心设置 维修保养 节约 拆卸 转动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种卡盘销，用于夹持设置在卡盘上的工件，其特征在于，包括：卡盘销主体；连接件，与所述卡盘销主体可拆卸连接；定位销，与所述连接件固定连接，用于夹持所述工件；旋转件，与所述卡盘销主体固定连接，用于带动所述定位销转动，所述旋转件与所述定位销偏心设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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