[实用新型]卡盘销和工件清洗装置有效
| 申请号： | 201820235544.X | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207868183U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李丹;高英哲;崔亚东;张文福 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卡盘 定位销 连接件 旋转件 工件清洗装置 本实用新型 可拆卸连接 夹持 偏心设置 维修保养 节约 拆卸 转动 生产 | ||
1.一种卡盘销，用于夹持设置在卡盘上的工件，其特征在于，包括：
卡盘销主体；
连接件，与所述卡盘销主体可拆卸连接；
定位销，与所述连接件固定连接，用于夹持所述工件；
旋转件，与所述卡盘销主体固定连接，用于带动所述定位销转动，所述旋转件与所述定位销偏心设置。
2.如权利要求1所述的卡盘销，其特征在于，所述连接件与所述定位销同轴设置。
3.如权利要求1所述的卡盘销，其特征在于，所述连接件与所述旋转件同轴设置。
4.如权利要求1至3任一项所述的卡盘销，其特征在于，所述连接件与所述卡盘销主体螺纹连接。
5.如权利要求4所述的卡盘销，其特征在于，所述连接件为螺杆，所述螺杆的一端与所述卡盘销主体螺纹连接，所述螺杆的另一端与所述定位销固定连接。
6.如权利要求5所述的卡盘销，其特征在于，所述螺杆的另一端开设有凹槽，所述定位销的一端设置于所述凹槽中，所述定位销的另一端设置于所述凹槽外。
7.如权利要求4所述的卡盘销，其特征在于，所述连接件与所述定位销一体成型。
8.如权利要求4所述的卡盘销，其特征在于，所述定位销呈圆柱状。
9.如权利要求4所述的卡盘销，其特征在于，所述旋转件为齿轮。
10.一种工件清洗装置，其特征在于，包括卡盘、旋转驱动件和至少三个如权利要求1至9任一项所述的卡盘销，所述卡盘销上开设有至少三个销孔，所述定位销从所述卡盘的一侧穿过所述销孔延伸至所述卡盘的另一侧，所述卡盘销的数量与所述销孔的数量相对应，所述旋转驱动件用于驱动所述旋转件旋转。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
