[实用新型]一种压电石英传感器镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种压电石英传感器镀膜装置，包括蒸镀室、操作台和镀膜基板，所述操作台位于蒸镀室内部，所述镀膜基板位于操作台上方，所述镀膜基板一侧连接有喷孔且喷孔等间距设置有多组，所述镀膜基板内部设置有减震弹簧，所述镀膜基板另一侧连接有伸缩轴，所述伸缩轴两侧均连接有加热板，所述蒸镀室下端连接有底座。本实用新型通过在镀膜基板内部设置减震弹簧，并在其一侧连接喷孔，在进行表面镀膜时使镀膜铺展更为均匀，同时经减震弹簧对喷孔形成支撑限位防护，并且在操作台内部设置夹持孔，防止其发生位置偏移，同时在夹持孔外侧连接复位弹簧，适用范围更广，此外在底座内部设置吸尘器，保持蒸镀室内部洁净。

主权项

1.一种压电石英传感器镀膜装置，包括蒸镀室（1）、操作台（2）和镀膜基板（3），所述操作台（2）位于蒸镀室（1）内部，所述镀膜基板（3）位于操作台（2）上方，其特征在于：所述镀膜基板（3）一侧连接有喷孔（7）且喷孔（7）等间距设置有多组，所述镀膜基板（3）内部设置有减震弹簧（8），所述镀膜基板（3）另一侧连接有伸缩轴（9），所述伸缩轴（9）两侧均连接有加热板（5），所述蒸镀室（1）下端连接有底座（4），所述底座（4）内部设置有吸尘器（13），所述吸尘器（13）一端连接有集尘管（14），所述吸尘器（13）通过集尘管（14）连接有导风口（15），所述导风口（15）设置于蒸镀室（1）内侧，所述吸尘器（13）一侧设置有控制屏（10）。