[实用新型]一种压电石英传感器镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201820222802.0 申请日: 2018-02-08
公开(公告)号: CN207877852U 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 周朱华;王祖勇 申请(专利权)人: 嘉兴晶控电子有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 李伊飏
地址: 314000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 镀膜基板 操作台 喷孔 减震弹簧 内部设置 压电石英传感器 本实用新型 镀膜装置 夹持孔 伸缩轴 室内部 蒸镀室 蒸镀 吸尘器 等间距设置 表面镀膜 底座内部 发生位置 复位弹簧 限位防护 偏移 加热板 镀膜 下端 底座 铺展 洁净 支撑
【说明书】:

实用新型公开了一种压电石英传感器镀膜装置,包括蒸镀室、操作台和镀膜基板,所述操作台位于蒸镀室内部,所述镀膜基板位于操作台上方,所述镀膜基板一侧连接有喷孔且喷孔等间距设置有多组,所述镀膜基板内部设置有减震弹簧,所述镀膜基板另一侧连接有伸缩轴,所述伸缩轴两侧均连接有加热板,所述蒸镀室下端连接有底座。本实用新型通过在镀膜基板内部设置减震弹簧,并在其一侧连接喷孔,在进行表面镀膜时使镀膜铺展更为均匀,同时经减震弹簧对喷孔形成支撑限位防护,并且在操作台内部设置夹持孔,防止其发生位置偏移,同时在夹持孔外侧连接复位弹簧,适用范围更广,此外在底座内部设置吸尘器,保持蒸镀室内部洁净。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置,特别涉及一种压电石英传感器镀膜装置。

背景技术

压电式传感器是基于压电效应的传感器,是一种自发电式和机电转换式传感器。它的敏感元件由压电材料制成,压电材料受力后表面产生电荷,此电荷经电荷放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输出,压电式传感器用于测量力和能变换为力的非电物理量,它的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等,在对压电石英传感器进行加工使用时,需要对其进行镀膜操作。

现有的压电石英传感器镀膜装置其结构及功能较为单一,使用上存在一定的局限性,例如其对该类传感器的体积规格适应效果不佳,容易造成镀膜偏差导致不均匀,并且现有的镀膜装置对加工对象的防护保护效果不佳,容易造成加工磨损,影响后期使用。为此,我们提出一种压电石英传感器镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种压电石英传感器镀膜装置,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种压电石英传感器镀膜装置,包括蒸镀室、操作台和镀膜基板,所述操作台位于蒸镀室内部,所述镀膜基板位于操作台上方,所述镀膜基板一侧连接有喷孔且喷孔等间距设置有多组,所述镀膜基板内部设置有减震弹簧,所述镀膜基板另一侧连接有伸缩轴,所述伸缩轴两侧均连接有加热板,所述蒸镀室下端连接有底座,所述底座内部设置有吸尘器,所述吸尘器一端连接有集尘管,所述吸尘器通过集尘管连接有导风口,所述导风口设置于蒸镀室内侧,所述吸尘器一侧设置有控制屏。

进一步地,所述伸缩轴一端设置有药液入口。

进一步地,所述操作台内侧设置有夹持孔,所述夹持孔四周均连接有复位弹簧。

进一步地,所述控制屏一侧设置有蓄电池,所述加热板和控制屏均与蓄电池电性连接。

进一步地,所述底座下端固定连接有防滑脚。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:该种压电石英传感器镀膜装置:

1、本实用新型通过在镀膜基板内部设置减震弹簧,并在其一侧连接喷孔,利用喷孔能够在进行表面镀膜时使镀膜铺展更为均匀,同时经减震弹簧对喷孔形成支撑限位防护。

2、本实用新型通过在操作台内部设置夹持孔,防止其发生位置偏移,并且在夹持孔外侧连接复位弹簧,对该压电石英传感器进行缓冲保护和体积规格适应,适用范围更广。

3、本实用新型通过在底座内部设置吸尘器,用于将蒸镀室内部进行加工前后产生的灰尘等进行即时吸除,保持蒸镀室内部洁净,加工操作效果进一步提升。

附图说明

图1为本实用新型压电石英传感器镀膜装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型压电石英传感器镀膜装置的操作台结构示意图。

图3为本实用新型压电石英传感器镀膜装置的镀膜基板结构示意图。

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