[实用新型]一种压电石英传感器镀膜装置有效
| 申请号： | 201820222802.0 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN207877852U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 周朱华;王祖勇 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶控电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜基板 操作台 喷孔 减震弹簧 内部设置 压电石英传感器 本实用新型 镀膜装置 夹持孔 伸缩轴 室内部 蒸镀室 蒸镀 吸尘器 等间距设置 表面镀膜 底座内部 发生位置 复位弹簧 限位防护 偏移 加热板 镀膜 下端 底座 铺展 洁净 支撑 | ||
1.一种压电石英传感器镀膜装置，包括蒸镀室（1）、操作台（2）和镀膜基板（3），所述操作台（2）位于蒸镀室（1）内部，所述镀膜基板（3）位于操作台（2）上方，其特征在于：所述镀膜基板（3）一侧连接有喷孔（7）且喷孔（7）等间距设置有多组，所述镀膜基板（3）内部设置有减震弹簧（8），所述镀膜基板（3）另一侧连接有伸缩轴（9），所述伸缩轴（9）两侧均连接有加热板（5），所述蒸镀室（1）下端连接有底座（4），所述底座（4）内部设置有吸尘器（13），所述吸尘器（13）一端连接有集尘管（14），所述吸尘器（13）通过集尘管（14）连接有导风口（15），所述导风口（15）设置于蒸镀室（1）内侧，所述吸尘器（13）一侧设置有控制屏（10）。
2.根据权利要求1所述的一种压电石英传感器镀膜装置，其特征在于：所述伸缩轴（9）一端设置有药液入口（6）。
3.根据权利要求1所述的一种压电石英传感器镀膜装置，其特征在于：所述操作台（2）内侧设置有夹持孔（11），所述夹持孔（11）四周均连接有复位弹簧（12）。
4.根据权利要求1所述的一种压电石英传感器镀膜装置，其特征在于：所述控制屏（10）一侧设置有蓄电池（16），所述加热板（5）和控制屏（10）均与蓄电池（16）电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种压电石英传感器镀膜装置，其特征在于：所述底座（4）下端固定连接有防滑脚（17）。
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