[实用新型]一种晶圆自动定位系统及包括它的装载机

摘要

本实用新型涉及了一种晶圆自动定位系统，其包括调整平台、真空发生器、机械手、驱动装置、激光测距系统、摄像系统、第一控制器等几部分。晶圆初步放置到位后，通过设置在其正上方的摄像系统实时地对其定位标记进行捕捉，将画面传送至第一控制器，产生其浮动坐标(X、Y)，又通过激光测距系统得出晶圆上表面的Z相坐标值，而后与第一控制器中预设的坐标值进行对比，发出控制信号。驱动装置根据上述控制信号驱使调整平台进行X、Y、Z轴方向移动，进行晶圆位置二次调整，从而提高了晶圆的定位精度。

主权项

1.一种晶圆自动定位系统，其特征在于，包括：调整平台，用于放置晶圆；所述调整平台上设置有真空吸附槽，与真空发生器相连；机械手，用于拾取所述晶圆并将其放入所述调整平台上；所述晶圆上设置有定位标记；驱动装置，用于驱使所述调整平台进行X、Y、Z轴方向移动；激光测距系统，用于实时对所述晶圆的Z轴方向尺寸进行检测；摄像系统，用于摄取所述晶圆表面并形成实时画面，并捕捉晶圆上的定位标记；第一控制器，其与所述激光测距系统及所述摄像系统相连，该第一控制器根据摄像系统捕捉到的定位标记产生浮动坐标植，并根据该浮动坐标植与预设坐标植进行对比，从而发出控制信号至所述驱动装置。