[发明专利]二维MEMS扫描反射镜转角标定系统及标定方法有效
| 申请号： | 201811634308.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109724540B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 刘洪兴;李宪圣;马宏财;孙景旭;薛金来;陈哲;聂婷;李俊秋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维MEMS扫描反射镜转角标定系统及标定方法，其中，标定系统包括：光学平台；高精度激光准直组件产生可见光高准直度的激光光束入射到待标定反射镜上；待标定反射镜将激光光束反射至激光光斑探测组件；激光光斑探测组件接收反射的激光光束并形成激光光斑，并将激光光斑成像至转角标定组件；转角标定组件与待标定反射镜连接，转角标定组件采集在不同驱动电压下的激光光斑的质心位置，并将质心位置和激光光斑探测组件中的水平、竖直位移平台的绝对位置转换成二维角度信息拟合得到转角标定系数。本发明可完成大转角范围高精度转角标定工作，标定数据应用于火星车自主着陆点选择系统，可快速准确完成着陆点的选择。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 mems 扫描 反射 转角 标定 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二维MEMS扫描反射镜转角标定系统，其特征在于，其包括：光学平台，其用于提供基准平面；高精度激光准直组件，其用于产生可见光高准直度的激光光束，并将所述激光光束入射到待标定二维MEMS扫描反射镜上；所述待标定二维MEMS扫描反射镜，其用于将所述激光光束反射至激光光斑探测组件；所述激光光斑探测组件，其用于接收所述待标定二维MEMS扫描反射镜反射的激光光束并形成激光光斑，并将所述激光光斑成像至转角标定组件；所述转角标定组件，其与所述待标定二维MEMS扫描反射镜连接，所述转角标定组件用于改变所述待标定二维MEMS扫描反射镜在两维扫描方向上的驱动电压，并采集在不同驱动电压下的所述激光光斑的质心位置，并将所述质心位置和所述激光光斑探测组件中的水平位移平台的第一绝对位置、竖直位移平台的第二绝对位置并转换成二维角度信息，并根据所述不同的驱动电压和所述二维角度信息拟合得到转角标定系数。
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