[发明专利]蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法有效
| 申请号： | 201811601232.7 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109597250B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李迁;陈兴武 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;G02F1/137 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法，该蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法包括：提供一基板；在该基板表面沉积形成一层薄膜；在薄膜表面形成多个相间分布的辅助金属层；将基板浸入刻蚀液中进行刻蚀处理，形成多个相间分布的立体基底；将经过刻蚀处理后的基板进行清洗处理；在立体基底表面沉积一层ITO导电层，得到立体电极。本发明通过使用金属辅助法在基板上制作不同刻蚀模板多晶硅(氧化硅)的立体化图案，以及通过控制刻蚀液的浓度和刻蚀时间，来得到不同宽度/高度比和不同形状的立体电极，具有可调性，满足了不同的电极设计需求，能够降低蓝相液晶显示面板的驱动电压。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶面板 制作方法 及其 立体 电极 | ||
【主权项】：
1.一种蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：S10：提供一基板；S20：在所述基板表面沉积形成一层薄膜；S30：在所述薄膜表面制作阵列图案，形成有多个相间分布的辅助金属层；S40：将所述基板浸入刻蚀液中进行刻蚀处理，形成多个相间分布的立体基底；S50：将经过刻蚀处理后的所述基板进行清洗处理；S60：在所述立体基底表面沉积一层ITO导电层，得到立体电极。
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