[发明专利]蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法

说明书

本发明提供一种蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法，该蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法包括：提供一基板；在该基板表面沉积形成一层薄膜；在薄膜表面形成多个相间分布的辅助金属层；将基板浸入刻蚀液中进行刻蚀处理，形成多个相间分布的立体基底；将经过刻蚀处理后的基板进行清洗处理；在立体基底表面沉积一层ITO导电层，得到立体电极。本发明通过使用金属辅助法在基板上制作不同刻蚀模板多晶硅(氧化硅)的立体化图案，以及通过控制刻蚀液的浓度和刻蚀时间，来得到不同宽度/高度比和不同形状的立体电极，具有可调性，满足了不同的电极设计需求，能够降低蓝相液晶显示面板的驱动电压。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法。

背景技术

蓝相液晶显示面板由于具有亚毫秒级的响应速度等优点，目前已得到广泛的关注，但是其自身具有的高驱动电压等缺点也成为了限制其发展的主要因素。针对如何降低蓝相液晶显示面板的驱动电压这一技术问题，目前已经提出了不同的方案，例如：从新电极的结构和形状、新电极的排列方式以及新的蓝相液晶单体材料等方面进行改进。其中，电极结构和形状的改进是目前普遍提出的比较有效的实施方案之一。

关于不同形状的立体电极，人们已经通过模拟手段证明其有效性，但是立体电极的主要难点在于立体电极的制作工艺，如何制作高度合适、导电性能好的立体电极成为亟待解决的问题。

因此，本发明提供一种新的蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法，来解决上述技术问题。

发明内容

本发明提供一种蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法，可解决现有技术中的立体电极的制作工艺问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明实施例提供一种蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法，所述制造方法包括以下步骤：

S 10：提供一基板；

S20：在所述基板表面沉积形成一层薄膜；

S30：在所述薄膜表面制作阵列图案，形成有多个相间分布的辅助金属层；

S40：将所述基板浸入刻蚀液中进行刻蚀处理，形成多个相间分布的立体基底；

S50：将经过刻蚀处理后的所述基板进行清洗处理；

S60：在所述立体基底表面沉积一层ITO导电层，得到立体电极。

在本发明实施例提供的蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法中，所述薄膜的材料为多晶硅或氧化硅。

在本发明实施例提供的蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法中，所述薄膜的高度为100nm～5um。

在本发明实施例提供的蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法中，采用低压力化学气相沉积方法在所述基板表面形成所述薄膜。

在本发明实施例提供的蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法中，通过电子束光刻方法形成所述辅助金属层。

在本发明实施例提供的蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法中，所述通过电子束光刻方法形成所述辅助金属层的步骤包括：

S301：在所述薄膜上覆盖一层金属层；

S302：在所述金属层上覆盖一层电子束光刻胶；

S303：采用电子束曝光系统，对所述电子束光刻胶进行曝光；

S304：对曝光后的所述电子束光刻胶进行显影；

S305：剥离所述电子束光刻胶，形成所述辅助金属层。