[发明专利]一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法在审
| 申请号： | 201811600577.0 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109713159A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 谢孟坤;魏斌;严利民;刘心元;谭红斌;薛永站 | 申请（专利权）人： | 上海晶合光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 200000 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法。该方法包括：对ITO导电玻璃进行清洁处理；在清洁后的ITO导电玻璃表面旋涂光刻胶，使光刻胶完全覆盖于所述ITO导电玻璃表面，得到光刻胶处理后的ITO导电玻璃；对光刻胶处理后的ITO导电玻璃进行分块化处理，将ITO导电玻璃分成多个ITO导电模块，得到模块化底电极；在模块化底电极上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层和电子注入层；对每一ITO导电模块的电子注入层上蒸镀图案化金属电极，得到顶电极图案化有机电致发光器件。采用本发明的方法具有工艺流程简单，节约成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 有机电致发光器件 顶电极 光刻胶 图案化 电子注入层 导电模块 底电极 模块化 蒸镀 制备 电子传输层 空穴传输层 空穴注入层 图案化金属 有机发光层 清洁处理 工艺流程 胶处理 电极 分块 旋涂 清洁 节约 | ||
【主权项】：
1.一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括：对ITO导电玻璃进行清洁处理；在清洁后的ITO导电玻璃表面旋涂光刻胶，使所述光刻胶完全覆盖于所述ITO导电玻璃表面，得到光刻胶处理后的ITO导电玻璃；对所述光刻胶处理后的ITO导电玻璃进行分块化处理，将所述ITO导电玻璃分成多个ITO导电模块，得到模块化底电极；在所述模块化底电极上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层和电子注入层；对每一ITO导电模块的电子注入层上蒸镀图案化金属电极，得到顶电极图案化有机电致发光器件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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