[发明专利]一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法

说明书

本发明公开了一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法。该方法包括：对ITO导电玻璃进行清洁处理；在清洁后的ITO导电玻璃表面旋涂光刻胶，使光刻胶完全覆盖于所述ITO导电玻璃表面，得到光刻胶处理后的ITO导电玻璃；对光刻胶处理后的ITO导电玻璃进行分块化处理，将ITO导电玻璃分成多个ITO导电模块，得到模块化底电极；在模块化底电极上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层和电子注入层；对每一ITO导电模块的电子注入层上蒸镀图案化金属电极，得到顶电极图案化有机电致发光器件。采用本发明的方法具有工艺流程简单，节约成本的优点。

技术领域

本发明涉及有机电致发光器件技术领域，特别是涉及一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法。

背景技术

近些年来，有机电致发光器件已经普遍应用于照明显示领域，有机电子器件是以能够导电的有机材料为基础制备的具有特定功能的半导体器件。由于有机电子器件中的有机材料大部分是由碳和氢组成的，用它们来做电子器件具有很多好处，例如易制作、成本低、化学可调、透明易弯曲等。利用有机电子器件的这些优点可以将其应用于图案化大面积显示领域，如汽车尾灯、灯牌等。

目前，图案化有机电致发光器件的制备方法是将底电极图案化，这种方法虽然精准，但是工艺复杂，工序较多，且复杂的工艺设计不利于器件的封装。而且对于一些简单图形，利用底电极图案化的方法显得复杂冗长，不利于实际生产加工中节约成本的需求。

发明内容

本发明的目的是提供一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法，具有工艺流程简单，节约成本的优点。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种顶电极图案化有机电致发光器件的制备方法，包括：

对ITO导电玻璃进行清洁处理；

在清洁后的ITO导电玻璃表面旋涂光刻胶，使所述光刻胶完全覆盖于所述ITO导电玻璃表面，得到光刻胶处理后的ITO导电玻璃；

对所述光刻胶处理后的ITO导电玻璃进行分块化处理，将所述ITO导电玻璃分成多个ITO导电模块，得到模块化底电极；

在所述模块化底电极上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层和电子注入层；

对每一ITO导电模块的电子注入层上蒸镀图案化金属电极，得到顶电极图案化有机电致发光器件。

可选的，所述对所述光刻胶处理后的ITO导电玻璃进行分块化处理，具体包括：

对所述光刻胶处理后的ITO导电玻璃进行前烘处理；

在前烘处理后的ITO导电玻璃的上方放置掩模版；所述掩模版包括遮光区和曝光区，所述掩模版的遮光区和曝光区的分布情况根据待分块处理的ITO导电玻璃中各个ITO导电模块的大小和形状确定；

对放置掩模版的ITO导电玻璃进行曝光处理，得到曝光处理后的ITO导电玻璃；

对所述曝光处理后的ITO导电玻璃进行后烘处理；

用显影液去除后烘处理后的ITO导电玻璃曝光区域的光刻胶；

刻蚀曝光区域的ITO，得到刻蚀处理后的ITO导电玻璃；

用丙酮清洗所述刻蚀处理后的ITO导电玻璃遮光区域的光刻胶，得到模块化底电极。

可选的，所述用显影液去除后烘处理后的ITO导电玻璃曝光区域的光刻胶，具体包括：将所述后烘处理后的ITO导电玻璃置于显影液中浸泡，并对显影液浸泡后的ITO导电玻璃用去离子水冲洗，得到去除曝光部分光刻胶的ITO导电玻璃。

可选的，所述刻蚀曝光区域的ITO，具体包括：使用王水刻蚀曝光区域的ITO。