[发明专利]电镀装置

摘要

本发明是使在多边形基板上电镀的膜的面内均匀性提高。电镀装置包括以保持阳极的方式而构成的阳极固持器、以保持多边形基板的方式而构成的基板固持器、以及设置在阳极固持器与基板固持器之间的调节板。调节板包括具有遵循多边形基板的外形的第一多边形开口的本体部、以及从第一多边形开口的边缘朝向基板固持器侧突出的壁部。壁部在包含第一多边形开口的边的中央部的第一区域内朝基板固持器侧跨第一距离而突出，在包含第一多边形开口的角部的第二区域内被切缺，或者朝向基板固持器侧跨小于第一距离的第二距离而突出。

主权项

1.一种电镀装置，其特征在于包括：阳极固持器，以保持阳极的方式而构成；基板固持器，以保持多边形基板的方式而构成；以及调节板，设置在所述阳极固持器与所述基板固持器之间；并且所述调节板包括具有遵循所述多边形基板的外形的第一多边形开口的本体部、以及从所述第一多边形开口的边缘向所述基板固持器侧突出的壁部，所述壁部是在包含所述第一多边形开口的边的中央部的第一区域内朝向所述基板固持器侧跨第一距离而突出，在包含所述第一多边形开口的角部的第二区域内被切缺，或者朝向所述基板固持器侧跨小于所述第一距离的第二距离而突出。