[发明专利]一种源瓶及半导体设备

摘要

本发明提供一种源瓶及半导体设备，该源瓶包括：瓶身以及固定安装在所述瓶身上的瓶盖，所述瓶身与所述瓶盖可形成密闭空间，所述瓶盖上还设置有与所述密闭空间连通的进气管以及出气管，所述进气管用于向所述密闭空间通入载气，所述出气管用于向所述密闭空间外输出反应前驱体和所述载气，还包括：托盘，设置在所述密闭空间中，用于装载固态源；盖板，与所述托盘相对设置；升降装置，用于驱动所述盖板下降至遮盖所述托盘上的固态源的第一位置；或者上升至与所述托盘相分离的第二位置。通过本发明，解决了固态源蒸汽浓度不足及运输安装过程中固态源洒落的问题。