[发明专利]卡盘销以及卡盘销自清洗装置有效
| 申请号： | 201811491409.2 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109686694B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 刘璞方;高英哲;张文福;李丹;袁林涛 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种卡盘销，包括卡盘销主体；定位销，其固定到所述卡盘销主体的一侧并与所述卡盘销主体偏心布置；以及齿轮，其固定到所述卡盘销主体的另一侧并与所述卡盘销主体同心布置，所述齿轮用于带动所述卡盘销主体以及所述定位销转动；所述卡盘销还包括：注液管路，其延伸穿过所述定位销、所述卡盘销主体以及所述齿轮；以及出液管路，其延伸穿过所述卡盘销主体以及所述齿轮。本发明还提供一种包括所述卡盘销的卡盘销自清洗装置。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 以及 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种卡盘销(100)，包括：卡盘销主体(20)；定位销(10)，其固定到所述卡盘销主体(20)的一侧并与所述卡盘销主体(20)偏心布置；以及齿轮(30)，其固定到所述卡盘销主体(20)的另一侧并与所述卡盘销主体(20)同心布置，所述齿轮(30)用于带动所述卡盘销主体(20)以及所述定位销(10)转动；其特征在于，所述卡盘销(100)还包括：注液管路(11)，其延伸穿过所述定位销(10)、所述卡盘销主体(20)以及所述齿轮(30)；以及出液管路(21)，其延伸穿过所述卡盘销主体(20)以及所述齿轮(30)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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