[发明专利]一种高速双头自动上下料固晶机在审
| 申请号: | 201811476044.6 | 申请日: | 2018-12-04 |
| 公开(公告)号: | CN109461689A | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
| 发明(设计)人: | 陈永胜;张晓飞 | 申请(专利权)人: | 奥特马(无锡)电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 高志军 |
| 地址: | 214101 江苏省无锡市锡山经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种高速双头自动上下料固晶机,包括机架台板、芯片视觉定位相机、双吸嘴摆臂机构、芯片定位机构、料片支架定位结构和自动上下料机构,芯片视觉定位相机的数量为两个,机架台板包括台板,台板的外围固定连接有外围保护罩,台板的底部固定连接有机架龙骨,芯片定位机构的底部与台板顶部的一侧固定连接,本发明涉及固晶机技术领域。该高速双头自动上下料固晶机,芯片定位机构包括第一Y向单轴机械手、第一X轴单向机械手和蓝膜夹具,蓝膜夹具的内壁固定连接有蓝膜圈,可实现定位精度更准确,操作简单,减少人为操作造成的不良率,更有效提供设备效率,节约人工成本,基本实现自动化生产。 | ||
| 搜索关键词: | 固晶机 芯片定位机构 自动上下料 蓝膜 双头 台板 视觉定位相机 夹具 机架台板 外围 芯片 自动上下料机构 单向机械手 单轴机械手 自动化生产 摆臂机构 人工成本 设备效率 台板顶部 有效提供 支架定位 保护罩 不良率 有机架 龙骨 料片 内壁 吸嘴 节约 | ||
【主权项】:
1.一种高速双头自动上下料固晶机,包括机架台板(1)、芯片视觉定位相机(2)、双吸嘴摆臂机构(3)、芯片定位机构(4)、料片支架定位结构(5)和自动上下料机构(6),所述芯片视觉定位相机(2)的数量为两个,其特征在于:所述机架台板(1)包括台板(11),所述台板(11)的外围固定连接有外围保护罩(12),所述台板(11)的底部固定连接有机架龙骨(13),所述芯片定位机构(4)的底部与台板(11)顶部的一侧固定连接,所述芯片定位机构(4)包括第一Y向单轴机械手(41)、第一X轴单向机械手(42)和蓝膜夹具(43),所述蓝膜夹具(43)的内壁固定连接有蓝膜圈(44),所述第一X轴单向机械手(42)的顶部固定连接有芯片上顶机构(45)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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