[发明专利]一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统

摘要

本发明公开了一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，包括：解包机械手、暂存装置、翻转检查装置以及传输装置，传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区，解包机械手夹取盖体并将其放置在暂存装置上，传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置相对接的作业区，翻转检查装置夹紧已解包的曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对已解包的曝光光罩进行多角度的清洁。实施本发明的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，将曝光光罩的解包、传输及清洁集成为一体，节省空间，满足智能化制造的需求；提高产能，提高产品的良率。

主权项

1.一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，包括：用以兼容夹取曝光光罩及盖设在其上盖体的解包机械手，所述解包机械手可自适应位置调整；设在所述解包机械手邻侧的用以存放盖体的暂存装置；对夹取的曝光光罩进行不同角度的翻转以供多角度清洁的翻转检查装置；以及分别与所述解包机械手的位置和所述翻转检查装置的位置相适配以供流水作业的传输装置，其中：所述传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至所述解包机械手的作业区，所述解包机械手夹取盖体并将其放置在所述暂存装置上，所述传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与所述翻转检查装置相对接的作业区，所述翻转检查装置夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁。