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[发明专利]曝光机-CN201910948431.3有效
发明人： 许俊安;王维;丁仁义;熊定;冯超;安齐全 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光机，包括光罩导轨、光罩平台、转移构件、静电消除构件以及控制装置，光罩导轨包括互相平行的第一光罩导轨和第二光罩导轨；光罩平台放置在光罩导轨上，用于承载光罩；转移构件用于转移光罩；静电消除构件用于在转移构件转移光罩时，消除光罩因脱离光罩平台所产生的静电；控制装置用于在满足预定条件时，控制静电消除构件的工作。本发明通过设置静电消除构件，消除了光罩平台和光罩脱离过程中产生的静电，改善了因静电原因造成的光罩电路图形损坏。
曝光

[发明专利]一种掩膜板治具、曝光机-CN201910782579.4在审
发明人：丁仁义;王维;韩宗范;李雄;冯超;许俊安 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板治具、曝光机，本发明提供掩膜板治具用以容置第二掩膜板，其中所述第二掩膜板设置于所述掩膜板治具的框体内的支撑台阶上。当所述第二掩膜板收容在所述掩膜板治具内时，其结合所述掩膜板治具的外形尺寸等同于第一掩模板的外形尺寸，以此实现不同尺寸的第一掩膜板和第二掩膜板共用一个曝光机，最终提高生产效率，节约生产成本。
掩膜板治具曝光机节约生产成本生产效率支撑台阶掩模板容置收容体内

[发明专利]一种曝光机-CN201910645184.X在审
发明人：韩宗范;许俊安;王维;丁仁义;冯超;王抗 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种曝光机，该曝光机用于将电路绘制于玻璃基板上，该曝光机包括：壳体、机械手、保护罩和导流组件，壳体用于为玻璃基板提供密闭的工作环境，机械手固定在壳体内，机械手用于将玻璃基板传递至壳体中的曝光区域处，保护罩罩设在机械手上，导流组件，导流组件的一端与保护罩连接，导流组件的相对一端穿设于壳体，且用于与排风系统连接，其中，在排风系统运行时，排风系统在导流组件中形成负压气流，以将保护罩内的空气抽出。本申请的曝光机能够降低壳体内部中微尘出现的可能性。
导流组件曝光机保护罩壳体机械手玻璃基板排风系统负压气流壳体内部曝光区域运行时密闭穿设微尘申请电路抽出绘制体内传递

[发明专利]一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统-CN201811382372.X在审
发明人：熊定;江敏成;王维;林明文;蔡在秉;许俊安 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，包括：解包机械手、暂存装置、翻转检查装置以及传输装置，传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区，解包机械手夹取盖体并将其放置在暂存装置上，传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置相对接的作业区，翻转检查装置夹紧已解包的曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对已解包的曝光光罩进行多角度的清洁。实施本发明的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，将曝光光罩的解包、传输及清洁集成为一体，节省空间，满足智能化制造的需求；提高产能，提高产品的良率。
解包曝光光翻转检查装置传输装置清洁系统机械手暂存装置作业区一体化传输机械手夹继续传输节省空间翻转清洁智能化产能盖体夹紧良率取盖制造

[发明专利]曝光机-CN201710758280.6有效
发明人： 许俊安;林明文;王维;江敏成;熊定;杨进森 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光机，曝光腔室外设有包围光源灯室和照明系镜组的透明防护罩，为所述光源灯室和照明系镜组提供了一隔离外部环境即洁净室内空气的空间，且所述透明防护罩与第一气体输送管道连接并相通，所述第一气体输送管道向所述透明防护罩内输送气体从而对所述光源灯室和照明系镜组进行冷却处理，能够避免现有技术直接抽取洁净室内空气对光源灯室和照明系镜组进行冷却而造成曝光腔室外镜片雾化的问题，使所述光源灯室和照明系镜组的镜片可以得到保护，进而可节省售价非常昂贵的高压汞灯或镜片，有效降低了生产成本。
曝光

[发明专利]曝光机及遮光叶片-CN201710583019.7有效
发明人：王维;林明文;江敏成;许俊安;熊定;蔡在秉 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光机及遮光叶片。该曝光机通过在第一前遮光叶片的竖直部中设置开口，使得第一前遮光叶片移动时空气可通过所述开口流动，进而减少第一前遮光叶片移动时第一前遮光叶片与光罩保护膜之间的气压下降，避免光罩保护膜被刮蹭，并通过在所述开口的顶部和侧部设置遮光板，避免曝光所用的紫外光从所述开口泄漏出去，保证第一前遮光叶片的遮光效果和曝光机的曝光效果，防止图形异常。
曝光遮光叶片

[发明专利]一种TFT阵列基板、制作方法以及液晶显示面板-CN201711175833.1在审
发明人：陈仲仁;蔡在秉;李彦泽;伍池林;吴智坤;许俊安 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种TFT阵列基板，其特征在于，在所述TFT阵列基板上至少设置有衬底基板、薄膜晶体管层，以及位于所述薄膜晶体管层上的钝化层及像素电极层，在所述钝化层上形成有至少一个过孔；在所述过孔中设置有支撑物，且所述支撑物具有同一水平面用于支撑与所述TFT阵列基板对盒的CF基板的下表面。本发明还公开了相应的制作方法及液晶显示面板。实施本发明实施例，可以减小TFT阵列基板表面过孔的高度差，提高配向膜厚度均匀性，以及平整度，以提高液晶显示面板的显示效果。
一种 tft 阵列制作方法以及液晶显示面板

[实用新型]装配式轻质空心筒墙-CN201720575373.0有效
发明人：夏军武;陈晓淼;赵文婷;李仁庆;张龙;许俊安;刘璐 -专利权人：中国矿业大学
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： E04B1/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种装配式轻质空心筒墙，适用于建筑领域中使用。包括多个无比钢立柱，每两个无比钢立柱之间设有与无比钢立柱相同方向排列的空心筒排，所述空心筒排包括多根纵置排列的轻质空心筒，空心筒排上下分别设有上固定盖和下固定盖，上固定盖和下固定盖分别将空心筒排两端与两侧无比钢立柱相互连接固定，空心筒排前后设有多个与无比钢立柱和空心筒排连接固定的水平支撑板。能够协助无比钢立柱承受竖向荷载，提高建筑的承载能力，且施工快捷，便于安装；轻质空心筒的中心为空心，有利于阻断热流传递，对建筑的有效保温性。
装配式空心

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