[发明专利]一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统

权利要求书

1.一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，包括：

用以兼容夹取曝光光罩及盖设在其上盖体的解包机械手，所述解包机械手可自适应位置调整；

设在所述解包机械手邻侧的用以存放盖体的暂存装置；

对夹取的曝光光罩进行不同角度的翻转以供多角度清洁的翻转检查装置；以及

分别与所述解包机械手的位置和所述翻转检查装置的位置相适配以供流水作业的传输装置，其中：

所述传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至所述解包机械手的作业区，所述解包机械手夹取盖体并将其放置在所述暂存装置上，所述传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与所述翻转检查装置相对接的作业区，所述翻转检查装置夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁。

2.如权利要求1所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述传输装置包括：

导轨；

装设在所述导轨上且可沿所述导轨往复移动的移动架；以及

设在所述移动架上且可相对于所述移动架进行升降的用以承载曝光光罩的载台，其中：所述移动架连同所述载台沿所述导轨移动将带有盖体的曝光光罩传输至所述解包机械手的作业区。

3.如权利要求1所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述翻转检查装置包括：

支撑架；

设置在所述支撑架上的翻转组件；

连接在所述翻转组件上的载架，所述载架上设有卡爪组件，其中：所述卡爪组件包括：装设在所述载架上的滑台、设置在所述滑台上的卡爪以及连接在所述滑台上用以调整所述滑台相对位置的驱动模组，所述驱动模组改变所述载架上的所述滑台的相对位置，以使其上的卡爪能够夹取和紧固所述传输装置上的曝光光罩。

4.如权利要求2所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述翻转检查装置包括：

支撑架；

设置在所述支撑架上的翻转组件；

连接在所述翻转组件上的载架，所述载架上设有用以夹取和紧固曝光光罩的卡爪组件，其中：所述卡爪组件包括：滑台、设置在所述滑台上的卡爪以及连接在所述滑台和所述卡爪之间的用以调整所述滑台上所述卡爪相对位置的驱动模组，其中:

所述载架翻转至水平状态时，所述移动架连同所述载台沿所述导轨移动并将曝光光罩传输至所述载架的下方。

5.如权利要求4所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述载台相对于所述移动架上升，将所述载台上的曝光光罩推送至靠近所述载架的位置，所述驱动模组改变所述载架上的所述滑台的相对位置，以使所述滑台上的卡爪夹取和紧固曝光光罩。

6.如权利要求4所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述卡爪夹取和紧固曝光光罩后，所述载台相对于所述移动架下降，并沿所述导轨由所述载架的下方移开，所述载架连同曝光光罩在翻转组件的带动下翻转。

7.如权利要求3-6任一项所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述卡爪组件还包括：

装设在所述滑台和/或所述驱动模组上的多个用以辅助所述卡爪夹取曝光光罩的传感器。

8.如权利要求7所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述传感器包括：压力传感器、夹紧传感器以及上下到位传感器中的一种或多种。

9.如权利要求2所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，通过PLC电机控制所述移动架沿所述导轨往复移动。