[发明专利]一种用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置及生产方法

摘要

本发明公开了一种用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置及生产方法，属于羰化冶金生产领域，解决了加热温度的不均匀导致的镍层厚度的不均匀的问题。本发明包括串联在导热油管道上的气瓶加热室、导热油泵和导热油加热器，气瓶加热室内安装有至少一个待沉积气瓶。方法包括以下步骤：将气瓶安装在气瓶加热室内，气瓶内通入氮气进行压力测试；气瓶内通入CO气体进行压力测试和CO气体置换；开启导热油泵和导热油加热器，导热油循环不断对气瓶进行加热；向气瓶内通入羰基镍和CO的混合气体，在导热油的加热条件下，进行MOCVD沉积镍。本发明通过油浴对气瓶进行均匀加热，使气瓶中所形成的镀镍层均匀、致密、光滑。

主权项

1.一种用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置，其特征在于：包括串联在导热油管道（5）上的气瓶加热室（3）、导热油泵（9）和导热油加热器（4），所述气瓶加热室（3）内安装有至少一个气瓶（2）。