[发明专利]图像传感器

摘要

一种图像传感器包括感光元件、存储元件及驱动电路。存储元件相邻于感光元件且包括存储节点、栅极介电层、存储栅极电极、刻蚀终止层、屏蔽层、以及保护层。栅极介电层位于存储节点上。存储栅极电极位于栅极介电层上。刻蚀终止层覆盖栅极介电层及存储栅极电极。屏蔽层位于存储栅极电极上。保护层夹置在刻蚀终止层与屏蔽层之间。驱动电路与存储元件相邻。

主权项

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：感光元件；存储元件，与所述感光元件相邻，且包括：存储节点；栅极介电层，位于所述存储节点上；存储栅极电极，位于所述栅极介电层上；刻蚀终止层，覆盖所述栅极介电层及所述存储栅极电极；屏蔽层，位于所述存储栅极电极上；以及保护层，夹置在所述刻蚀终止层与所述屏蔽层之间；以及驱动电路，与所述存储元件相邻。