[发明专利]蒸镀挡板机构及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201811307079.7 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109338305A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 朱秋虹;施展 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，所述蒸镀挡板机构设置在一蒸镀源及一基板之间，所述蒸镀挡板机构包括一挡板组件及一驱动源，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 挡板机构 挡板组件 基板 蒸镀装置 驱动源 蒸镀源 角度限制板 驱动 区域扩大 区域缩小 向上移动 向下移动 放射状 沉积 配置 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀挡板机构，设置在一蒸镀源及一基板之间，其特征在于：所述蒸镀挡板机构包括：一挡板组件，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径形成在所述角度限制板上，而且所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域；及一驱动源，所述驱动源与所述挡板组件安装在一起，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。
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