[发明专利]蒸镀挡板机构及蒸镀装置

说明书

本发明公开一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，所述蒸镀挡板机构设置在一蒸镀源及一基板之间，所述蒸镀挡板机构包括一挡板组件及一驱动源，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。

技术领域

本发明是有关于一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，特别是有关于一种应用在显示器制造领域的蒸镀挡板机构及蒸镀装置。

背景技术

随着显示技术的急速进步，作为显示装置核心的半导体元件技术也随之得到了飞跃性的进步。对于现有的显示装置而言，有机发光二极管(Organic Light EmittingDiode,OLED)作为一种电流型发光器件，因其所具有的自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性衬底上等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。另外，OLED显示器具有色彩鲜艳，高对比度，功耗低，可柔等诸多优点，成为显示领域开发和投资的热点。随着OLED显示器制作工艺的日趋成熟，OLED显示器越来越被大众所认可，应用领域将会越来越广。

在光电及显示领域，特别是OLED器件制造领域，有机小分子真空蒸镀的不均匀性、蒸镀掩膜板(Mask)强度及精确度的要求等因素制约了OLED显示技术往基板大尺化方向的发展。现有技术的真空蒸镀装置中，蒸发源无论采用点蒸发源、线蒸发源、或面蒸发源等，一般均为一步式真空蒸镀，即各层薄膜均一次性蒸镀到整个基板上。

然而，OLED生产技术上，用于蒸镀的设备为蒸发源(source)，而蒸发源又分为有机蒸发源和无机蒸发源。对于蒸镀不同材料的蒸发源的设计会有所差别，其中angle shield(角度限制版)的设计也存在差异。在目前的应用中，角度限制版对应设计的长度和高度是固定的，但是不同材料的掺杂率不同，对应的角度限制版都不同，这对于生产中调节掺杂率是很难的，而材料的掺杂率影响着产品的效率和寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，利用驱动源驱动挡板组件的升降移动，能够放大或缩小基板的蒸镀区域，以实现角度限制板的高度的自动调节。

为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种蒸镀挡板机构，所述蒸镀挡板机构设置在一蒸镀源及一基板之间，而且所述蒸镀挡板机构包括一挡板组件及一驱动源，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径形成在所述角度限制板上，而且所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域；所述驱动源与所述挡板组件安装在一起，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。

在本发明的一实施例中，所述驱动源具有二底座及二支撑杆，所述支撑杆分别支撑在所述角度限制板的二相反侧。

在本发明的一实施例中，所述底座为自动高度调节器，配置用以升降所述支撑杆。

在本发明的一实施例中，所述底座为弹性调节器，配置用以升降所述支撑杆。

在本发明的一实施例中，所述底座为气压杆或油压缸，配置用以升降所述支撑杆。

在本发明的一实施例中，所述驱动源具有二滑块，安装在所述支撑杆上而带动所述角度限制板移动。

为达成本发明的前述目的，所述支撑杆标示有一刻度，配置用以识别所述角度限制板所在位置的一高度。

为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括上述的蒸镀挡板机构。

在本发明的一实施例中，所述蒸镀装置还包含一腔体，所述蒸镀挡板机构设置在所述腔体中。