[发明专利]一种多晶硅铸锭用氮化硅窑具材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201811282135.6 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109320258A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 徐恩霞;刘源;徐晗;王长春;刘豪;陈花朵 | 申请（专利权）人： | 郑州大学;河南北星精细陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 张丹 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用氮化硅窑具材料注浆成型方法，将氮化硅粉、硅粉、助烧结剂、粘结剂、分散剂在去离子水中充分混合，制备料浆、注浆、固化脱模、干燥和烧结得到致密氮化硅窑具材料，通过调节PH，调节料浆的zeta电位，调整料浆粘度至适宜。以高固含量的料浆，通过注浆工艺，实现氮化硅颗粒的密堆积，再通过烧结制备得到高致密的氮化硅窑具材料，整个生产过程及设备简单，无需加压，且生产成本低、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 窑具材料 氮化硅 多晶硅铸锭 烧结 料浆 制备 氮化硅颗粒 生产成本低 致密氮化硅 充分混合 氮化硅粉 料浆粘度 生产过程 制备料浆 助烧结剂 注浆成型 注浆工艺 分散剂 高致密 固含量 密堆积 粘结剂 硅粉 水中 脱模 注浆 固化 加压 离子 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭用氮化硅窑具材料，其特征在于，原料包括主料、添加剂和水，其中，所述主料的组成按照重量百分比包括硅粉12‑17％和氮化硅粉83‑88％，总量计为100％；添加剂包括助烧结剂、粘结剂和分散剂；所述添加剂的用量以重量百分比计：其中所述助烧结剂用量为所述主料的1‑5％，所述粘结剂为所述主料的0.01‑0.1％，所述分散剂为所述主料的1‑5％；水的用量以重量百分比计为所述主料的15‑20％。
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