[发明专利]一种侧壁非金属化的阶梯槽的制作方法有效
申请号: | 201811280217.7 | 申请日: | 2018-10-30 |
公开(公告)号: | CN109246935B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 焦其正;纪成光;王小平;金侠 | 申请(专利权)人: | 生益电子股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/02 | 分类号: | H05K3/02;H05K3/42;H05K3/06;H05K3/46 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;唐京桥 |
地址: | 523127 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种侧壁非金属化的阶梯槽的制作方法,包括:提供具有初始阶梯槽的多层板;将多层板化学沉铜,使多层板的初始阶梯槽的侧壁和槽底沉积薄铜;对多层板在初始阶梯槽的槽底和槽外钻通孔;将多层板进行沉积反应,使得多层板的侧壁、槽底以及通孔的孔壁形成导电层;去除侧壁的薄铜以及薄铜上的导电层;将多层板进行电镀,使得多层板的孔壁的导电层镀上一层厚铜。在初始阶梯槽的槽底制作内层图形。本发明实施例提供的技术方案,相对于现有技术,工艺方法更简单,无需特殊设备或者特殊流程,既降低了操作难度,还提高工作效率,适合大批量制作。 | ||
搜索关键词: | 一种 侧壁 金属化 阶梯 制作方法 | ||
【主权项】:
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