[发明专利]加热装置的调节方法、加热装置及化学气相沉积设备

摘要

本申请涉及集成电路制造技术领域，具体而言，涉及一种加热装置的调节方法、加热装置及化学气相沉积设备。所述加热装置包括用于承载衬底的承载部及安装于所述承载部的加热器，所述加热器用于加热所述承载部，以使承载于所述承载部的衬底上能够形成薄膜，且所述加热器包括多个加热元件，各所述加热元件分别与所述承载部的不同区域相对应；其中，加热装置的调节方法包括：获取蚀刻条件，所述蚀刻条件为在对形成有薄膜的衬底进行蚀刻时的蚀刻条件；根据所述蚀刻条件对各所述加热元件的加热功率进行独立调整，以调整所述承载部的不同区域的温度，从而能够缓解形成有薄膜的衬底在后续蚀刻工艺中出现蚀刻不彻底或蚀刻过度的情况。