[发明专利]半导体元件在审

专利信息
申请号: 201811185822.6 申请日: 2018-10-11
公开(公告)号: CN109860172A 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 江国诚;蔡庆威;程冠伦;王志豪 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L21/8234
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种半导体元件包括基板、半导体鳍、隔离插塞及隔离结构。半导体鳍在基板上方。隔离插塞在基板上方并邻近半导体鳍的端部。隔离结构在基板上方并邻近半导体鳍及隔离插塞的侧壁。隔离结构的顶表面的位置低于隔离插塞的顶表面。
搜索关键词: 半导体鳍 插塞 基板 隔离结构 隔离 半导体元件 顶表面 邻近 侧壁
【主权项】:
1.一种半导体元件,其特征在于,包含:一基板;一半导体鳍,在该基板上方;一隔离插塞,在该基板上方并邻近该半导体鳍的一端部;以及一隔离结构,在该基板上方并邻近该半导体鳍及该隔离插塞的侧壁,其中该隔离结构的一顶表面的一位置低于该隔离插塞的一顶表面。
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