[发明专利]极紫外光表膜设备

摘要

本公开是关于一种形成表膜设备的方法，包括藉由在一基底装置层上方沉积定义一层或多层表膜层以形成装置基板，其中释放层形成在上述表膜层上方。粘合层形成在透明承载基板上方。上述粘着层接合到释放层上，而定义出包括装置基板及承载基板的复合基板。从复合结构去除基底装置层，且将表膜框架附接到表膜层的最外层。将表膜区与复合结构的剩余区隔开，且通过透明承载基板对释放层进行烧蚀，从而定义包括附接到表膜框架的表膜的一表膜设备。随后将表膜设备从复合基板的剩余部分分离。

主权项

1.一种极紫外光表膜设备，包括：一复合结构，具有小于约500nm的厚度，该复合结构包括：一第一表膜层，具有一第一表面及一第二表面；一第二表膜层，具有一第三表面及一第四表面，其中该第三表面与该第一表膜层的该第二表面形成界面；以及一第三表膜层，具有一第五表面及一第六表面，其中该第五表面与该第二表膜层的该第四表面形成界面；以及一表膜框架，连接到该第一表膜层的该第一表面的多个外部边缘，且配置为用以将该复合结构安装到一极紫外光倍缩掩模上，其中该第一表面及该第六表面为面朝相反的方向。